Logo der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt

Mathematische Modellierung und Datenanalyse

Fachbereich 8.4

Publikations Einzelansicht

Doktorarbeit

Titel: Statistical Approaches to the Inverse Problem of Scatterometry
Autor(en): M.-A. Henn
Jahr: 2013
Schule: TU Berlin
Schlüsselwörter: 8.41,8.42,Scatter-Inv,Scatterometrie
Marker: 8.41,Scatter-Inv

Zurück zur Listen Ansicht