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Mathematische Modellierung und Datenanalyse

Fachbereich 8.4

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Artikel

Titel: Profile reconstruction in extreme ultraviolet (EUV) scatterometry: modeling and uncertainty estimates
Autor(en): H. Gross, A. Rathsfeld, F. Scholze and M. Bär
Journal: Measurement Science and Technology
Jahr: 2009
Band: 20
Ausgabe: 10
Seite(n): 105102
IOP Publishing
DOI: 10.1088/0957-0233/20/10/105102
ISSN: 0957-0233
Web URL: http://iopscience.iop.org/article/10.1088/0957-0233/20/10/105102
Schlüsselwörter: 8.41,Scatter-EUV,Scatter-Inv,Scatterometrie
Marker: 8.41,Scatter-Inv

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