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Mathematische Modellierung und Datenanalyse

Fachbereich 8.4

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Beitrag zu Buch

Titel: Stochastic modeling aspects for an improved solution of the inverse problem in scatterometry
Autor(en): H. Groß, M.-A. Henn, A. Rathsfeld and M. Bär
Editor: F. Pavese, M. Bär, J.-R. Filtz, A. B. Forbes, L. Pendrill, K. Shirono
Jahr: 2012
Buchtitel: Advanced Mathematical & Computational Tools in Metrology and Testing IX
World Scientific New Jersey
Schlüsselwörter: 8.41,Scatter-Inv
Marker: 8.41,Scatter-Inv

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