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Modellierung und Simulation

Arbeitsgruppe 8.41

Publikationen 8.41

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Beitrag zu Tagungsband

Titel: First steps towards a scatterometry reference standard
Autor(en): B. Bodermann, P.-E. Hansen, S. Burger, M.-A. Henn, H. Gross, F. Scholze, J. Endres and M. Wurm
Jahr: 2012
Buchtitel: SPIE Proc.
Schlüsselwörter: 8.41,Scatter-Inv
Marker: 8.41,Scatter-Inv

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