Publikationen 8.41
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Beitrag zu Tagungsband
Titel: | First steps towards a scatterometry reference standard |
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Autor(en): | B. Bodermann, P.-E. Hansen, S. Burger, M.-A. Henn, H. Gross, F. Scholze, J. Endres and M. Wurm |
Jahr: | 2012 |
Buchtitel: | SPIE Proc. |
Schlüsselwörter: | 8.43,Scatter-Inv |
Marker: | 8.43,Scatter-Inv |