Publikationen 8.41
Publikations Einzelansicht
Beitrag zu Sammlung
Titel: | Charakterisierung von Nanostrukturen aund Substraten der Halbleiterindustrie |
---|---|
Autor(en): | B. Bodermann, J. Flügge and H. Groß |
Jahr: | 2011 |
Buchtitel: | PTB-Mitteilungen 2/2011 "Themenschwerpunkt Nanometrologie" |
Schlüsselwörter: | 8.41,Nanometrology |
Marker: | 8.41, Scatter-Inv |