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Modellierung und Simulation

Arbeitsgruppe 8.41

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Artikel

Titel: Bayesian approach to determine critical dimensions from scatterometric measurements
Autor(en): S. Heidenreich, H. Gross and M. Bär
Journal: Metrologia
Jahr: 2018
Band: 55
Ausgabe: 6
Seite(n): 201
DOI: 10.1088/1681-7575/aae41c
Marker: 8.4,8.41,8.43, UQ

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