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Artikel
Titel: | Impact of different stochastic line edge roughness patterns on measurements in scatterometry - a simulation study |
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Autor(en): | H. Gross, S. Heidenreich and M. Bär |
Journal: | Measurement |
Jahr: | 2017 |
Band: | 98 |
Seite(n): | 339--346 |
DOI: | 10.1016/j.measurement.2016.08.027 |
Marker: | 8.4,8.43,Scatter-Inv |