Modellierung und Simulation

Arbeitsgruppe 8.41

Titel:	Numerical analysis of DUV scatterometry on EUV masks
Autor(en):	M. Wurm, B. Bodermann, R. Model and H. Groß
Jahr:	2007
Buchtitel:	SPIE Proc. 6617
Schlüsselwörter:	8.41,Scatter-Inv
Marker:	8.41,Scatter-Inv

Publikationen 8.41