Publikationen 8.41
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Artikel
Titel: | Improved grating reconstruction by determination of line roughness in extreme ultraviolet scatterometry |
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Autor(en): | M.-A. Henn, S. Heidenreich, H. Groß, A. Rathsfeld, F. Scholze and M. Bär |
Journal: | Opt. Lett. |
Jahr: | 2012 |
Band: | 37 |
Ausgabe: | 24 |
Seite(n): | 5229--5231 |
DOI: | 10.1364/OL.37.005229 |
Schlüsselwörter: | 8.43,Scatter-Inv |
Marker: | 8.43,Scatter-Inv |