Publikationen 8.41
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Artikel
Titel: | A surrogate model enables a Bayesian approach to the inverse problem of scatterometry |
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Autor(en): | S. Heidenreich, H. Gross, M.-A. Henn, C. Elster and M. Bär |
Journal: | J. Phys. Conf. Ser. |
Jahr: | 2014 |
Band: | 490 |
Ausgabe: | 1 |
Seite(n): | 012007 |
IOP Publishing | |
DOI: | 10.1088/1742-6596/490/1/012007 |
ISSN: | 1742-6596 |
Web URL: | http://iopscience.iop.org/article/10.1088/1742-6596/490/1/012007 |
Marker: | 8.43,Bayes,Scatter-Inv,Regression,8.42, UQ |