Modellierung und Simulation

Arbeitsgruppe 8.41

Titel:	Optimal sets of measurement data for profile reconstruction in scatterometry
Autor(en):	H. Groß, A. Rathsfeld, F. Scholze, M. Bär and U. Dersch
Jahr:	2007
Buchtitel:	SPIE Proc. 6617
Schlüsselwörter:	8.41,Scatter-Inv
Marker:	8.41,Scatter-Inv

Publikationen 8.41