Publikationen 8.41
Publikations Einzelansicht
Beitrag zu Tagungsband
| Titel: | Modellbildung, Bestimmung der Messunsicherheit und Validierung für diskrete inverse Probleme am Beispiel der Scatterometrie |
|---|---|
| Autor(en): | H. Groß, R. Model, F. Scholze, M. Wurm, B. Bodermann, M. Bär and A. Rathsfeld |
| Jahr: | 2008 |
| Buchtitel: | Sensoren und Messsystem 2008 |
| Seite(n): | 337--346 |
| Marker: | 8.41, Scatter-Inv |