Publikationen 8.41
Publikations Einzelansicht
Artikel
Titel: | Mathematical modelling of indirect measurements in scatterometry |
---|---|
Autor(en): | H. Groß, R. Model, M. Bär, M. Wurm, B. Bodermann and A. Rathsfeld |
Journal: | Measurement |
Jahr: | 2006 |
Band: | 39 |
Ausgabe: | 9 |
Seite(n): | 782--794 |
DOI: | 10.1016/j.measurement.2006.04.009 |
ISSN: | 02632241 |
Web URL: | http://www.researchgate.net/publication/223944217\_Mathematical\_modelling\_of\_indirect\_measurements\_in\_scatterometry |
Schlüsselwörter: | 8.41 |
Marker: | 8.41, Scatter-Inv |