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313. PTB Seminar VUV and EUV Metrology

05.11.2019

Die Teilnehmer des 313. PTB-Seminars „VUV and EUV Metrology“ am 22.-23.10.2019 am Institut Berlin der PTB.

Am 22. und 23. Oktober 2019 fand im Hermann-von-Helmholtz-Bau das 313. PTB-Seminar "VUV and EUV Metrology" statt. Bei diesem in zweijährigem Turnus mittlerweile zum fünften Mal veranstalteten Workshop nahmen 107 Teilnehmer aus Forschungs- und Metrologieinstituten sowie aus Unternehmen teil, und diskutierten in regem Austausch neueste Entwicklungen und Ergebnisse auf dem Gebiet der Nutzung von Strahlung im extrem- und vakuum-ultravioletten Spektralbereich. Die insgesamt 23 Vorträge und 18 Poster spannten einen weiten fachlichen Bogen von der industriellen Anwendung zur Fertigung und Charakterisierung von Nanostrukturen, über die Entwicklung von Labortechnik und Auswertealgorithmen bis hin zu weltraumgestützten Beobachtungsinstrumenten. Der einleitende Übersichtsvortrag zum aktuellen Stand der kommerziellen EUV-Lithographie, d.h. der Herstellung von Halbleiterstrukturen durch Belichtung mit Strahlung bei 13 Nanometer Wellenlänge, verdeutlichte die gewachsene industrielle Bedeutung dieses Themengebietes. Die Durchführung der Veranstaltung wurde von acht Industrieunternehmen sowie dem Helmholtz-Fonds finanziell unterstützt.

Ansprechpartner:

A. Gottwald, 7.13, E-Mail: Opens window for sending emailAlexander.Gottwald(at)ptb.de
F. Scholze, 7.12, E-Mail: Opens window for sending emailFrank.Scholze(at)ptb.de