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FAIRe optische Konstanten: Neues Software-Tool

29.02.2024

OCDB logo und Software Interface

Die optischen Konstanten beschreiben vollständig, wie ein Material Licht überträgt, reflektiert, absorbiert, bricht oder streut. Daher ist ihre genaue Kenntnis von zentraler Bedeutung für die optische Technologie. Im Rahmen der europäischen Verbundprojekte „Advanced Traceable Metrology for Optical Constants“ (ATMOC) und „14 Angstrom CMOS IC technology“ (14ACMOS) hat die PTB damit begonnen, eine Datenbank mit optischen Konstanten dünner Schichten im extrem-ultravioletten Spektralbereich aufzubauen: die Optical Constants Database (OCDB) (https://www.ocdb.ptb.de/). Der Schwerpunkt dieser Datenbank liegt auf Materialien, insbesondere Metalle, Verbundwerkstoffe und Legierungen, die für Anwendungen in der (EUV-)Lithografie wichtig sind.

Zur Nutzung der Datenbank wurde jetzt eine Software in der Programmiersprache Python entwickelt, die den einfachen Zugriff sowohl auf die Daten als auch auf die zugehörigen Metadaten inkl. Referenzen für jeden Datensatz ermöglicht. Das Python-Paket ist unter einer freien Lizenz veröffentlicht, kann aus den gängigen Paketquellen installiert werden, ist umfassend dokumentiert und folgt bewährten Verfahren der Softwareentwicklung, um eine hohe Codequalität und langfristige Wartbarkeit und Weiterentwicklung zu gewährleisten. Mit der OCDB Datenbank soll das Ziel erreicht werden, Daten, Messunsicherheiten und relevante Metadaten entsprechend den FAIR-Prinzipien (findable, accessible, interoperable, reusable) nachvollziehbar, zitierfähig und einfach zugängig zu machen.

Die Daten in der OCDB werden stetig aktualisiert und bezüglich des Wellenlängenbereichs sowie der Anzahl der Materialien kontinuierlich ergänzt. Ebenso wird der Funktionsumfang des zugehörigen Python-Pakets kontinuierlich erweitert. Die Bereitstellung der optischen Konstanten durch die PTB, sowohl in Form der Datenbank als auch des Python-Pakets für den einfachen Zugang zu diesen Daten, unterstützt die Entwicklung optischer Technologien bei kurzen Wellenlängen, der EUV-Lithographie und neuer optischer Metrologiekonzepte für Nanostrukturen und damit die Industrie in Europa.

Links:

Python-Paket: https://ocdb-data.rtfd.io/

OCDB: https://www.ocdb.ptb.de/

Ansprechpartner:

T. Biskup, 7.1, E-Mail: till.biskup(at)ptb.de

V. Soltwisch, 7.14, E-Mail: victor.soltwisch(at)ptb.de

N. Hegemann, 8.43, E-Mail: nando.hegemann(at)ptb.de