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273. PTB Seminar

25.11.2013

Am 24. und 25. Oktober 2013 fand das 273. PTB-Seminar „VUV and EUV Metrology“ im Hörsaal des Helmholtz-Zentrums Berlin am Elektronenspeicherring BESSY II in Berlin-Adlershof statt. An zwei Tagen diskutierten mehr als 110 Teilnehmer aus Industrie und Forschung aktuelle Entwicklungen im Bereich der Anwendung, Instrumentierung und Messtechnik von und für die Spektralbereiche des Vakuum- und Extrem-Ultraviolett. Das Programm umfasste 29 eingeladene Vorträge, eine begleitende Posterschau sowie eine Besichtigung der PTB-Messeinrichtungen an der Metrology Light Source.  Die Durchführung wurde von zahlreichen Unternehmen (Carl Zeiss SMT, ASML, BESTEC, Bruker, Iszgro Diodes, Optixfab, Rigaku, Technoexan) sowie dem Helmholtz-Fonds unterstützt.

Ansprechpartner:

F. Scholze, 7.12, E-Mail: Opens window for sending emailFrank.Scholze(at)ptb.de