This file was created by the TYPO3 extension bib --- Timezone: CEST Creation date: 2024-04-25 Creation time: 16-59-05 --- Number of references 64 report PTB-F-62 2019 PTB-F-62 Dissertation, Technische Universität Carolo-Wilhelmina zu Braunschweig, 2019 PTB-Report 978-3-95606-455-5 0179-0609 StephanJantzen report PTB-F-63 2019 PTB-F-63 Dissertation, Technische Universität Carolo-Wilhelmina zu Braunschweig, 2019 PTB-Report 978-3-95606-457-9 0179-0609 DanielHutzschenreuter report PTB-F-64 2019 PTB-F-64 Dissertation, Technische Universität Carolo-Wilhelmina zu Braunschweig, 2019 PTB-Report 978-3-95606-480-7 0179-0609 MatthiasSchumann report PTB-F-60 2018 PTB-F-60 Dissertation, Technische Universität Kaiserslautern, 2018 PTB-Report 978-3-95606-406-7 0179-0609 ShanLin report PTB-F-61 2018 PTB-F-61 Workshop on Reference Nanomaterials current situation and needs development, measurement, standardization PTB Berlin-Adelershof, BESSY II, Germany, May 14 & 15, 2018 PTB-Report 978-3-95606-440-1 0179-0609 HaraldBosse (Hrsg.) report PTB-F-58 2017 PTB-F-58 Dissertation, Universität Bremen, Fachbereich Produktionstechnik, 2016 Dissertation PTB-Report 978-3-95606-304-6 0179-0609 KerstinRost report PTB-F-59 2017 PTB-F-59 Dissertation PTB-Report 978-3-95606-319-0 0179-0609 PeiLiu report PTB-F-57 2016 PTB-F-57 Dissertation PTB-Report 978-3-95606-297-1 0179-0609 ChristophWeichert report PTB-F-56 2015 PTB-F-56 Dissertation PTB-Report 978-3-95606-233-9 0179-0609 FrankSchmaljohann report 20711 2007 PTB-F-52 CD-ROM The objective of the seminar was to report on current trends and developments in dimensional metrology based on scanning electron microscopy (SEM) and to discuss about future requirements in this field. The reason for organization of the seminar in 2006 was on the one hand the increasing application of SEM for industrial process control in different technology fields with topics of calibration and measurement capability linked to it and on the other hand some recent developments of SEM based measurement equipment at the PTB. The presentations at the beginning of the seminar covered basic contrast mechanisms in SEM imaging and Monte Carlo based methods for SEM contrast simulation at micro- and nanostructure edges. In the following talks SEM based reference instrumentation for dimensional metrology at national metrology institutes were presented, supported by presentations concentrating on manufacturing and use of calibration standards for SEM. The other presentations on the first seminar day covered different aspects of application of SEM in semiconductor and mask industry with a focus on reproducibility of measurement results and cross calibration between different type of measuring instruments. The second day comprised talks concentrating on new developments in SEM instrumentation, covering new measuring principles and new signal analysis approaches for metrology as well. The seminar was closed with a session on photogrammetric measurement and analysis methods for 3D measurement structures and surfaces, a presentation on material testing by photogrammetry in SEM and application of a large chamber SEM for observation of micro-assembly and micro-machining processes. The seminar had 67 registered participants coming from 9 different countries (Austria, Czech Republic, France, Germany, Israel, Netherlands, Sweden, United Kingdom, USA). In addition to the oral presentations a small poster session and 3 different PTB laboratory tours in the PTB division s of Optics and Precision Engineering were offered during the seminar. The evening reception on the first day allowed to intensify personal contacts as well as SEM related scientific discussions. SEM based dimensional metrology : 223rd PTB-Seminar in Braunschweig, Germany ; (PTB-Bericht PTB-F-52) 15,00 EUR Bosse, Harald; 5.2, Längen- und Winkelteilungen, PTB-Braunschweig PTB-Report ISBN 978-3-86509-647-0 ISSN 0179-0609 report 20486 2007 PTB-F-53 CD-ROM€ 15,00 Die Anforderungen an die Qualität, Vielseitigkeit und Belastbarkeit von Produkten steigt stetig. Die Industrie muss ihre Produkte in immer kürzeren Entwicklungszyklen mit immer engeren Fertigungstoleranzen und einer zunehmend komplexeren Funktionalität entwickeln und anbieten. Daraus leiten sich immer höhere Anforderungen an die Fertigungsmesstechnik ab. Vor diesem Hintergrund wird in der vorliegenden Arbeit die Realisierung eines genauigkeitssteigernden Verfahrens für Koordinatenmessgeräte durch den Einsatz eines neuen laserinterferometrischen Trackingsystems zur hochgenauen Kalibrierung verschiedenster Messaufgaben beschrieben. Das Verfahren basiert auf der Implementierung eines hochgenauen Lasertrackers in ein Koordinatenmessgerät. Dieses liefert für jeden Messpunkt im Raum zusätzlich zu den Koordinaten des Koordinatenmessgerätes eine weitere Längeninformation in der interessierenden Messrichtung (meist Normalenrichtung der Werkstückoberfläche). Die mathematisch optimierte Einbindung dieser Zusatzinformation führt zu einer aufgabenspezifischen Verringerung der Messunsicherheit. Für die Umsetzung dieses so genannten Additiv-Verfahrens eignen sich kommerzielle Lasertracker nicht, da ihre Längenmessungen mit einer zu großen Unsicherheit behaftet sind. Aus diesem Grund wurde ein neues laserinterferometrisches Trackingsystem, mit dem sich hochgenaue Abstandsmessungen im Raum durchführen lassen, entwickelt. Im Unterschied zu kommerziellen Lasertrackern beziehen sich bei dieser Entwicklung durch ein neues Prinzip der Laserstrahlnachführung alle interferometrischen Längenmessungen auf einen langzeitstabilen Referenzpunkt im Raum. Hierdurch konnte die Messunsicherheit in den Längenmessungen erheblich reduziert werden. Basierend auf der Systemintegration des hochgenauen interferometrischen Trackingsystems in ein Koordinatenmessgerät und der Softwareumsetzung des Additiv-Verfahrens konnte ein universeller Lösungsansatz zur Reduzierung der Messunsicherheit auf Koordinatenmessgeräten für einige dreidimensionale Messaufgaben entwickelt werden. Anhand einiger Messergebnisse kann gezeigt werden, dass sich auf der Basis des Additiv-Verfahrens Formmessungen an einfachen und komplexeren Objekten mit einer wesentlich geringeren Messunsicherheit durchführen lassen. In industry, products are elaborated within development cycles that are becoming shorter and shorter, with production tolerances that are more and more close and with an increasingly complex functionality. This results in ever higher demands on production measuring techniques. Against this background, the present dissertation describes the realisation of an accuracy-increasing method for coordinate measuring machines. This so-called additive method is based on the implementation of a high-accuracy laser-interferometric tracking system in a coordinate measuring machine. For each measuring point in space, a further length measurement is carried out in the measuring direction concerned in addition to the coordinates of the coordinate measuring machine. The mathematically optimised integration of this additional information leads to a reduction in the measurement uncertainty. The development of the laser-interferometric tracking system is a further focus of the present dissertation. This system is a special design of a laser tracker which allows interferometric length measurements in space. In the case of the interferometric tracking system, a new principle of laser beam tracking makes it possible to relate all interferometric length measurements to a long-term-stable reference point in space. By this, a considerably reduced measurement uncertainty in length measurements is achieved, which is documented by an extensive measurement uncertainty budget. The application of the additive method requires the system integration of the interferometric tracking system in a coordinate measuring machine and the programming of corresponding measurement and evaluation software. The implementation described in this dissertation has enabled the development of an approach allowing the reduction of the measurement uncertainty with coordinate measuring machines for numerous 3-D measuring tasks. By means of measurement results, it is shown that, on the basis of the additive method, form measurements can be carried out on simple and more complex objects with a significantly lower measurement uncertainty. Taking into account determined influence quantities, the degree of the accuracy increase achievable can be optimised. Ein Beitrag zur Entwicklung eines laserinterferometrischen Trackingsystems für die Genauigkeitssteigerung in der Koordinatenmesstechnik ; (PTB-Bericht PTB-F-53) ; Zugl.: Ilmenau, Univ., Diss., 2007 € 15,00 Physikalisch-Technische Bundesanstalt PTB-Report ISBN 978-3-86509-676-0 ; ISSN 0179-0609 KarinKniel report 22622 2007 PTB-F-54 321 Geometriebestimmung mit industrieller Computertomographie : aktueller Stand und Entwicklungen ; 229rd PTB-Seminar in Braunschweig ; (PTB-Bericht PTB-F-54) Bartscher, Markus; 5.3, Koordinatenmesstechnik, PTB-Braunschweig PTB-Report ISBN 978-3-86509-703-3 ; ISSN 0179-0609 report PTB-F-55 2007 PTB-F-55 CD-ROM 3D Micro- and nanometrology : requirements and current developments ; Beiträge des 257. PTB-Seminars am 27. und 28. September 2010 PTB-Report 978-3-86918-103-5 0179-0609 Hans-UlrichDanzebrink report 17904 2005 PTB-F-50 32 , 32 tw. farb. Abb., 4 Tab. Es wird über Vergleichmessungen zwischen optischen Koordinaten-messgeräten an einem speziellen 2D-Konturnormal berichtet. Die Ergebnisse verdeutlichen den Stand der Technik bei der Messung komplexer 2D-Konturen mit optischen KMG. Die Referenzmessungen erfolgten mit einem Masken- und Wafer-Metrologiesystem. Es wurde experimentell nachgewiesen, dass die Qualität der Chromkanten einen entscheidenen Einfluss auf die Vergleichbarkeit von Messungen im Auflichtmodus und im Durchlichtmodus hat. Vergleichsmessungen mit optischen Koordinatenmessgeräten an einem speziellen 2D-Konturnormal ; (PTB-Bericht PTB-F-50) € 10,00 Physikalisch-Technische Bundesanstalt PTB-Report ISBN 3-86509-283-7 MichaelNeugebauer UlrichNeuschaefer-Rube report 18563 2005 PTB-F-51 128 , 78 Abb., 5 Tab. Mikrosysteme sind funktionelle und intelligente Geräte oder Maschinen, die Informationen aus der Umgebung erfassen und auf sie zugreifen. Sie können sich aus mechanischen, fluidischen, optischen sowie pneumatischen Komponenten und elektronischen Systemen zusammensetzen. Viele der Produkte oder Geräte, die wir jeden Tag benutzen, sind groß genug, um sie sehen und berühren zu können. Es können jedoch winzige Teile in sie eingebettet sein. Diese winzigen Teile können Mikrosysteme und Mikroprodukte sein. Der Antastprozess von Mikrotastern bei dimensionellen Messungen ; (PTB-Bericht PTB-F-51) ; Zugl.: Braunschweig, Univ., Diss., 2005 € 18,50 Physikalisch-Technische Bundesanstalt PTB-Report ISBN 3-86509-432-5 ; ISSN 0179-0609 ShizhiCao report PTB-F-46 2003 PTB-F-46 145 , 98 tw. farb. Abb., 5 Tab. Ziel dieser Arbeit war die Analyse der Sekundärelektronen-Signalentstehung an Mikrostrukturen in einem Niederspannungs-Rasterelektronenmikroskop, dem Elektronen-Optischen Metrologiesystem der PTB (EOMS). Die Vorgehensweise war dabei die Auftrennung der komplexen Signalentstehung in die einzelnen geräte- und probenspezifischen Kontrastmechanismen, die einzeln quantitativ erfaßt wurden. Aus der Analyse der Signalentstehung sollten Algorithmen zur Charakterisierung der Kantenstruktur und zur Strukturbreitemessung abgeleitet werden, um damit Messungen der Strukturbreite an Silizium- und Photomasken-Strukturen durchzuführen und mit den Ergebnissen anderer Meßmethoden zu vergleichen. Erstmals wurde die gesamte Signalentstehungskette eines Metrologie-SEMs analysiert und der Einfluß jeder Komponente der Signalentstehungskette auf Strukturbreitemessungen untersucht. Requirements and recent developments in high precision length metrology : proceedings of the 159. PTB-Seminar ; (PTB-Bericht PTB-F-45) 19,50 EUR PTB-Report ISBN: 978-3-89701-953-9 Carl GeorgFrase report 10495 2003 PTB-F-47 100 , 66 tw. farbige Abb. Im Zentrum dieses Projekts steht das innovative Konzept eines kompakten Sensor-Objektivs, das gleichzeitig als konventionelles Mikrospobjektiv und als SFM- und nachfeld-optischer Mikroskopkopf verwendet werden kann. Dieses Sensor-Objektiv basiert auf einem Spielobjektiv, welches direkt in den Revolver eines optischen Standardmikroskops eingeschraubt werden kann. Zusätzlich enthält es eine kompakte Rasterkraftmikroskop-(SFM)- Sensoreinheit. Das damit realisierbare Prinzip eines austauschbaren Messkopfes ist die Grundlage aller Entwicklungen in diesem Vorhaben. Das gilt sowohl für den Raum- als auch für den Tieftempearturaufbau. In allen Messsystemen lassen sich wahlweise Standardobjektive und unsere Sensor-Objektive einsetzen. Es wurden drei Prototypen des Sensor-Objektivs in verschiedenen Versionen aufgebaut und getestet. Entwicklung eines kombinierten Nahfeldmikroskopie- und -spektroskopiesystems : Bericht über das BMBF-Vorhaben 13N7643/6 ; (PTB-Bericht PTB-F-47) 17,00 EUR Physikalisch-Technische Bundesanstalt PTB-Report ISBN 3-86509-064-8 ISSN 0179-0609 ClaudioDal Savio ThorstenDziomba DmitriKazantsev Hans-UlrichDanzebrink report 18549 2003 PTB-F-48 189 , zahlr. Abb. In the end of November 2003 the 188th PTB-Seminar entitled "CD Metrology" took place in conjunction with the 187th PTB-Seminar on "Current Developments in Microscopy". Both oneday seminars were supported by the Helmholtz-Fonds. The 188th PTB-seminar was intended to bring together experts from industry, science and metrology institutes to discuss about the requirements and recent developments in the metrology of the widths of micro- and nanostructures on masks and wafers, which are used to manufacture integrated circuit devices. This topic is often called CD metrology, where CD is short for critical dimension. About 90 attendees from 10 countries joined the 187th PTB-seminar. CD-Metrology : proceedings of the 188th PTB-Seminar, 20th Nov. 2003 ; (PTB-Bericht PTB-F-48) € 21,50 Bosse, Harald; 5.2, Längen- und Winkelteilungen, PTB-Braunschweig Bodermann, Bernd; 4.2, Bild- und Wellenoptik, PTB-Braunschweig Mirandé, Werner; 4.2, Bild- und Wellenoptik, PTB-Braunschweig PTB-Report ISBN 3-86509-113-X ISSN 0179-0609 Bernd [speaker]Bodermann WernerMirandé report 19054 2003 PTB-F-49 128 , zahlr. Abb Requirements and recent developments in high precision angle metrology : proceedings of the 186th PTB-Seminar, 5th November 2003 ; (PTB-Bericht PTB-F-49) € 18,50 Probst, Reinhard; 5.2, Längen- und Winkelmesstechnik, PTB-Braunschweig Bosse, Harald; 5.2, Längen- und Winkelmesstechnik, PTB-Braunschweig PTB-Report ISBN 3-86509-112-1 ISSN 0179-0609 Ralf D.Geckeler report 15757 2002 PTB-F-44 214 , 220 Abb., 25 Tab. In 31 Beiträgen wird ein Einblick in den derzeitigen Stand der quantitativen Erfassung von Oberflächenstrukturen im Nanometerbereich vermittelt. Die Beiträge verteilen sich nahezu gleichmäßig auf die Themenbereiche: Normale und Kalibriermethoden – Angewandte Messungen – Neue Instrumente und Messmethoden. Die Rastersondenmikroskopie bildet mit mehr als der Hälfte der Beiträge den instrumentellen Schwerpunkt. Thematischer Schwerpunkt ist die Messung von Stufenhöhen und die Kalibrierung von Messgeräten in der entsprechenden z-Achse. Proceedings of the 5th seminar on quantitative microscopy and 1st seminar on nanoscale calibration standards and methods : NanoScale 2001 ; Dimensional measurements in the micro- and nanometre range ; (PTB-Bericht PTB-F-44) € 23,00 Hasche, Klaus; 5, Fertigungsmesstechnik, PTB-Braunschweig Mirandé, Werner; 4.22, Bildanalyse, PTB-Braunschweig Wilkening, Günter; 5.1, Nano- und Mikrometrologie, PTB-Braunschweig PTB-Report ISBN: 978-3-89701-840-2 report 14355 2001 PTB-F-40 128 Entwicklung eines neuartigen Interferenzkomparators für zylindrische und kubische Maßverkörperungen ; (PTB-Bericht PTB-F-40) ; Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss. Physikalisch-Technische Bundesanstalt PTB-Report ISBN 3-89701-641-9 ; ISSN 0179-0609 MichaelNeugebauer report 13761 2001 PTB-F-41 VII, 109 Messung dreidimensionaler Mikrostrukturen ; (PTB-Bericht PTB-F-41) ; Zugl.: Braunschweig, Univ., Diss. Physikalisch-Technische Bundesanstalt PTB-Report ISBN 3-89701-698-2 ThomasKleine-Besten report 14958 2001 PTB-F-43 Getr. Zählung Angle calibration on precision polygons ; PTB-Bericht PTB-F-43 PTB-Report ISBN 3-89701-769-5 ; ISSN 0179-0609 ReinhardProbst ReinerWittekopf report 15763 2001 PTB-F-45 236 , 304 Abb., 4 Tab. Requirements and recent developments in high precision length metrology : proceedings of the 159. PTB-Seminar ; (PTB-Bericht PTB-F-45) € 24,00 Bosse, Harald; 5.2, Längen- und Winkelmesstechnik, PTB-Braunschweig Flügge, Jens; 5.203, Nanometerkomparator, PTB-Braunschweig PTB-Report ISBN 3-89701-841-1 ISSN 0179-0609 report PTB-F-39 2000 PTB-F-39 230 In this work we present a process for the production of calibration chips containing submicron structures made from plastic by injection molding, using an adapted molding process commonly used for the production of compact discs (CDs). The CD molding tool was modified by inserting a silicon wafer which had been structured with regular test-patterns with grating periods down to 120 nm by electron-beam lithography. Hundreds of CDs carrying replicas of the test pattern were molded on an automatic injection molding machine with cycle times down to 10s. Proceedings of the 4th Seminar on Quantitative Microscopy QM 2000 : dimensional measurements in the micro- and nanometre range, applications, challenges, state-of-the-art ; (PTB-Bericht PTB-F-39) 24,00 EUR Hasche, Klaus; 5, Fertigungsmesstechnik, PTB-Braunschweig Mirandé, Werner; 4.22, Bildanalyse, PTB-Braunschweig Wilkening, Günter; 5.1, Nano- und Mikrometrologie, PTB-Braunschweig PTB-Report ISBN: 978-3-89701-503-6 ISSN 0179-0609 WernerMirandé Carl GeorgFrase HaraldBosse report 14924 2000 PTB-F-42 Getr. Zählung Interferenzkomparator zur Längenmessung mit tunnelmikroskopischen Tastern ; (PTB-Bericht PTB-F-42) ; Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss. Physikalisch-Technische Bundesanstalt PTB-Report ISBN 3-89701-720-2 ; ISSN 0179-0609 Christian H.Harms report EMFHFMAFPMHGTN1999 1999 PTB-F-35 148 , 42 Abbildungen, 6 Tabellen Die Richtlinie beschreibt die Methode des "Virtuellen KMG", also die Unsicherheitsberechnung durch rechnergestützte Überlagerung elementarer Unsicherheitseinflüsse. Sie wendet sich an den KMG-Anwender, an Laboratorien, die KMG kalibrieren und an Hersteller von KMG. Es ist beschrieben, wie die elementaren Unsicherheitsbeiträge durch Messung oder Abschätzung ermittelt werden und welches Modell der Berechnung der Ge-samtunsicherheit einer Meßaufgabe zugrunde liegt. PTB-F- DM 38,50 ISBN 3-89701-330-4 E.Trapet M.Franke F.Härtig H.Schwenke F.Wäldele M.Cox A.Forbes F.Delbressine P.Schellekens M.Trenk H.Meyer G.Moritz Th.Guth N.Wanner report H1999_2 1999 PTB-F-36 146 , 55 Abbildungen, 34 Tabellen Zunächst werden die bestehenden Verfahren und Richtlinien zur Ermittlung der Meßunsicherheit kurz dargestellt und den Anforderungen der Fertigungsmeßtechnik gegenübergestellt, dann das Prinzip der Simulation beschrieben und ein modulares Konzept vorgestellt, das zur Unsicherheitsbestimmung von Meßprozessen in der dimensionellen Meßtechnik dienen kann. Daraufhin erfolgte experimentell eine Überprüfung durch die Messung der Modelle mit jeweils zwei Meßgeräten unterschiedlicher Genauigkeitsklassen und dabei ein Vergleich mit den Meßunsicherheiten der gemessenen Werte an Normalen, die durch Simulation ermittelt wurden. PTB-F- DM 38,00 ISBN 3-89701-373-8 H.Schwenke report O1999 1999 PTB-F-37 26 s., 13 Abbildungen, 4 Tabellen Im Rahmen des EUROMET-Projektes 372 führten sieben Europäische Metrologische Staatsinstitute eine Vergleichsmessung an einem Stufenendmaß (STEM) der Nominallänge 420 mm durch. Der Bericht reflektiert die Ergebnisse. PTB-F- DM 29,00 ISBN 3-89701-415-7 O.Jusko report OF1999 1999 PTB-F-38 80 Zwischen 1996 und 1998 wurde von CIRP ein weltweiter Ringvergleich von Formmessungen organisiert. Unter den Teilnehmern waren Universitäten, nationale Metrologieinstitute (NMI) und industrielle Anwender. Die Meßgrößen waren Rundheit, Geradheit und Parallelität. Zum ersten Mal wurden Koordinatenmeßgeräte (KMG) und Formmeßgeräte in einer Vergleichsmessung direkt verglichen. Dieser Bericht präsentiert und analysiert die Ergebnisse. Die Resultate sind vielversprechend. Doch werden auch typische Probleme der Formmeßtechnik sichtbar. PTB-F- DM 29,00 ISBN 3-89701-472-6 O.Jusko F.Lüdicke report AH1998 1998 PTB-F-31 134 Hier spannt sich der Bogen von der Physik über Herstellung und Charakterisierung bis zum industriellen Einsatz von Bauelementen mit Dimensionen im nm-Bereich. Es handelt sich hierbei um ein eindrucksvolles Beispiel für die vehemente Umsetzung neuer Prinzipien in die wirtschaftliche Nutzung. PTB-F- DM 37,00 ISBN 3-89701-115-8 A.Schlachetzki KunzmannH. (Hrsg.) report X1998 1998 PTB-F-32 158 , 105 Abbildungen, 8 Tabellen Im Bericht wird detailliert auf Theorie und Anwendung von Plattenkondensatoren für die Wegmessung mit Subnano-meterauflösung eingegangen. Der Aufbau eines Scanapparates aus Bimorph Piezos wird beschrieben sowie dessen Bewegungsablauf analysiert. Einen breiten Raum nimmt auch die Kalibrierung des Scanapparates mit integrierten Kondensatoren mit Hilfe eines Laserinferometers sowie die Analyse der Meß-abweichungen ein. Der Einsatz des Rastersondenmikroskops für Längenmessungen ein- und zweidimensionaler Strukturen sowie spezieller Normale für Rastersondenmikroskope wird de-tailliert beschrieben und Meßabweichungen analysiert. PTB-F- DM 39,50 ISBN 3-89701-207-3 X.Zhao report H1998_2 1998 PTB-F-33 20 Seiten Es werden Ergebnisse der Luftrefraktometrie vorgestellt, die an einem Längenkomparator der PTB sowohl bei optimierten als auch bei unausgeglichenen Bedingungen innerhalb des Meß-laboratoriums gewonnen wurden. Ziel war es, die erreichbaren Grenzen minimaler Meßunsicherheit für den effektiven Bre-chungsindex unter nahezu optimalen Meßbedingungen bei optischen Gangunterschieden in der Luft von bis zu ca. 1m nachzuweisen (U È 1à 10-8). PTB-F- DM 16,50 ISBN 3-89701-264-2 H.Pieles report KvonWG1998 1998 PTB-F-34 134 Seiten Der Bericht ist in die Abschnitte "Instrumentation - Calibration - Application" gegliedert. Wie auch bei den vorangegangenen Seminaren dieser Reihe liegt der Schwerpunkt der Arbeiten auf dem Gebiet der Rastersondenmikroskopie (SPM), wobei der Themenbereich Geräteentwicklung, Referenznormale und Kali-brierungen entsprechend dem Thema des Seminars besonders vielfältig behandelt wird. Daneben wird über Anwendung von SPMs in der Oberflächenmeßtechnik berichtet. PTB-F- DM 37,00 ISBN 3-89701-280-4 HascheK. von W.Mirandé WilkeningG. (Eds.) report P1997 1997 PTB-F-25 102 , 77 Abbildungen, 8 Tabellen Es wurden zwei Verfahren der Interferenzsignalauswertung untersucht, die auf der Durchstimmbarkeit der Wellenlänge des Diodenlasers basieren. Der erste Ansatz führt zu einem nichtzählenden Interferometer. Im zweiten Ansatz wurde ein zählendes Interferometer realisiert, bei dem die modulierten Interferenzsignale mit Hilfe eines digitalen Signalprozesses direkt im Zeitbereich ausgewertet werden. PTB-F- DM 33,50 ISBN 3-89429-822-7 P.Wiese report R1997_2 1997 PTB-F-26 114 , 54 Abbildungen, 1 Tabelle Nach einer Vorstellung der bisherigen Ergebnisse aus Nano-strukturierungsexperimenten erfolgt eine Vorauswahl aus den bekannten Strukturierungsverfahren. Danach folgt eine Darstellung der theoretischen Grundlagen des Rastertunnelmikroskops und der Abscheidungsmechanismen und der Ergebnisse der Untersuchungen nach dem ausgewählten Impulsverfahren. PTB-F- DM 35,00 ISBN 3-89429-829-4 R.Köning report HU1997 1997 PTB-F-27 112 , 60 Abbildungen, 16 Tabellen Das Grundkonzept der optoelektronischen Nahfeldsonden wird vorgestellt. Es werden die Herstellung und Charakterisierung dieser Sonden sowie die grundlegenden Untersuchungen der Kantendetektoren, die dem Nachweis der hohen lateralen Auflösung dieser Sonden dienen, als auch die Entwicklung der Cantilever-Detektoren beschrieben. PTB-F- DM 34,50 ISBN 3-89429-830-8 H.-U.Danzebrink report HJC1997 1997 PTB-F-28 48 , 17 Abbildungen, 2 Tabellen Es werden der Aufbau, die Systemsteuerung und die Funktion der Prozeßperipherie PP2 beschrieben. Neben einer allgemeinen Information über elektronische Entwicklungen in der PTB soll der Bericht gleichzeitig den vielen Benutzern der Prozeßperipherie als Handbuch dienen. PTB-F- DM 22,50 ISBN 3-89701-020-8 H.-J.Schuster C.-J.Hora report AZeidA1997 1997 PTB-F-29 38 , 40 Abbildungen Das vorgestellte Meßverfahren erlaubt die einfache Messung von Nichtlinearitäten in den Leistung-Strom und Spannung-Strom-Kennlinien ohne einen zusätzlichen optischen Aufbau. Für die Messung der ersten und zweiten Ableitung der Leistung-Strom-Kennlinie mit Hilfe der im Lasergehäuse integrierten Monitorphotodiode wurde nur ein Oszillator und ein Lock-In-Verstärker verwendet. PTB-F- DM 20,50 ISBN 3-89701-079-8 AbouA.-Zeid A.Vogel report KWG1997 1997 PTB-F-30 218 , 164 Abbildungen, 9 Tabellen Der Bericht faßt 31 Beiträge zusammen, die während des Seminars präsentiert wurden, und stellt die quantitative Erfassung der Geometrie von (Mikro-) Strukturen in den Mittelpunkt. Schwerpunkt ist der Themenbereich "Referenz-SPM, Erfassen und Berücksichtigen der Spitzenform, Spitze-Oberfläche-Wechselwirkung, Referenznormale und deren Kalibrierung sowie Kalibrierung von SPMs in der Oberflächenmeßtechnik." PTB-F- DM 45,50 ISBN 3-89701-082-8 K.Hasche W.Mirandé WilkeningG. (Eds.) report J1996 1996 PTB-F-23 118 Als Referenz für Vergleichsmessungen bei variierenden Umgebungsbedingungen wurde ein Interferenzkomparator aufgebaut, bei dem der gesamte Interferometerstrahlengang im Vakuum angeordnet ist. Eine weitere Meßanordnung mit einem kapaziti-ven Meßsystem als Referenz wurde zur Untersuchung von In-terpolationsabweichungen eingesetzt. Um die Temperaturvertei-lung während der Vergleichsmessungen bestimmen zu können, wurde ein präzises Mehrkanal-Temperaturmeßsystem für Pt 100 Sensoren entwickelt. PTB-F- DM 35,50 ISBN 3-89429-683-6 J.Flügge report A1996 1996 PTB-F-24 114 , 1 Abbildung, 81 Tabellen Es sind die Verfahren 1.) Fehlervermeidung durch Kalibrierung, Führungskorrektur und Fehlerkompensation sowie durch 2.) Fehlerkorrektur mittels Fehlergleichungen und Messen unter veränderten Bedingungen verschiedene Ansätze theoretisch und praktisch an einem Versuchsaufbau überprüft worden. PTB-F- DM 35,00 ISBN 3-89429-741-7 A.Siebert report HH1995 1995 PTB-F-17 72 In October 1993 an EUROMET workshop on Temperature Measurements in Dimensional Metrology was held in Braunschweig. This PTB report is a collection of the manuscripts. PTB-F- DM 27,50 ISBN 3-89429-562-7 H.Kunzmann SchusterH.-J. (Ed.) report X1995 1995 PTB-F-20 190 , 110 Abbildungen, 9 Tabellen Als wichtiger Schritt für die Anwendung des SXM in der Nano-metrologie wurde ein Verfahren zur Positionierung der Spitze eines STM mit Hilfe kapazitiver Aufnehmer entwickelt und untersucht. Mathematische Modelle für die Berechnung des Plattenkondensators mit Schutzringelektrode als Wegaufnehmer wurden diskutiert und verbessert. Für universelle Anwendungen wurde auch eine analoge Kompensation der Linearitäts-abweichung entwickelt. PTB-F- DM 42,50 ISBN 3-89429-663-1 X.Zhao report KWG1995 1995 PTB-F-21 152 , 155 Abbildungen, 7 Tabellen Die Beiträge befassen sich mit meßtechnischen Aspekten lichtoptischer, elektronenoptischer und rastermikroskopischer Verfahren zur Messung der Geometrie von Mikrostrukturen. Dabei wurden sowohl instrumentelle Aspekte betrachtet als auch Kalibrierung und weitergehende Anwendungen. Der Schwerpunkt liegt auf dem Gebiet der Rastersondenmikroskopie. PTB-F- DM 38,50 ISBN 3-89429-921-5 K.Hasche MirandaW.0e WilkeningG. (Eds.) report D1995 1995 PTB-F-22 140 , 84 Abbildungen, 7 Tabellen Es wird die Wechselwirkung der Eigenschaften eines Meßob-jektes mit den Eigenschaften von Triangulationssensoren eingehend untersucht. Diese Wechselwirkung ist wesentlicher Faktor der Meßunsicherheit von Triangulationssensoren. Es werden Methoden zur Bestimmung der Meßunsicherheit sowie zur Verbesserung der Meßgenauigkeit von Triangulationssensoren in der Koordinatenmeßtechnik vorgeschlagen. PTB-F- DM 37,50 ISBN 3-89429-666-6 D.Hüser report HHrsg1994 1994 PTB-F-12 298 , 241 Abbildungen, 26 Tabellen Das Schwerpunktprogramm der Deutschen Forschungsgemeinschaft "Sensorsysteme" wird vorgestellt und diskutiert. PTB-F- DM 54,00 ISBN 3-89429-454-X KunzmannH. (Hrsg.) report H1994 1994 PTB-F-13 40 , 22. Abbildungen, 7 Tabellen Es wird über die in der Formmeßtechnik zur Meßsignalverarbei-tung verwendeten Profilfilter berichtet. PTB-F- DM 20,50 ISBN 3-89429-452-3 H.Bosse report GHrsg1994 1994 PTB-F-18 224 , 70 Abbildungen, 5 Tabellen Die genaue Bestimmung der Avogadro-Zahl N. (Anzahl der Mole-küle pro Mol) als eine der Fundamentalkonstanten der Physik mit Hilfe von hochreinem, monokristallinem Silicium in der PTB brachte die zwangsläufige Auseinandersetzung mit den Eigenschaften dieses in vieler Hinsicht idealen Materials mit sich. PTB-F- DM 46,00 ISBN 3-89429-469-8 WilkeningG. (Hrsg.) report KK1994 1994 PTB-F-19 110 , 87 Abbildungen, 3 Tabellen Folgende Themen: Optische Resonatoren und Gaslaser (543 und 633 mm), Messung der Luftbrechzahl, optische Schichten für Ein- und Mehrfarbeninterferometrie und Kalibrierung von Lasermeßsystemen. PTB-F- DM 34,50 ISBN 3-89429-476-0 K.Hasche HerrmannK. (Hrsg.) report AH1993 1993 PTB-F-16 188 , 118 Abbildungen, 5 Tabellen Ein Überblick über den aktuellen Stand von Techniken und Verfahren zur Erzeugung von Strukturen im Mikro- und Nanometerbereich sowie über Techniken zur Abscheidung und Charakterisierung dünner Schichten, speziell auf Silizium. PTB-F- DM 41,50 ISBN 3-89429-413-2 A.Schlachetzki KunzmannH. (Hrsg.) report W1992_2 1992 PTB-F-8 40 , 4 Abbildungen Nationale und internationale Vergleichsmessungen an Rauhnormalen mit Tastschnittgeräten /1/. PTB-F- DM 19,50 ISBN 3-89429-148-6 W.Hillmann report HK1992_2 1992 PTB-F-9 70 , 26 Abbildungen, 1 Tabelle In Bereichen der Fertigungstechnik, wie Maschinenbau, gilt die Referenztemperatur 20°C, in weiten Bereichen der Elektrotechnik/Elektronik jedoch 23°C. Beide Gebiete sind im Zuge der technischen Entwicklung zunehmend miteinander verknüpft. Daraus folgt in den betroffenen Unternehmen der Wunsch zu dimensionellen Größen Kalibrierungen durch die PTB zu bekommen. PTB-F- DM 26,00 ISBN 3-89429-197-4 H.Kunzmann HascheK. (Hrsg.) report HM1992 1992 PTB-F-10 98 , 78 Abbildungen, 6 Tabellen Die Härtemessung ist ein Verfahren der Werkstoffprüfung, das es ermöglicht, zerstörungsarm und in relativ kurzer Zeit Aufschluß über eine mechanische Eigenschaft eines Werkstoffes zu gewinnen. Die Unsicherheiten und Vergleichswerte bei ihrer Anwendung in der Praxis wurden berechnet und in Form von Diagrammen dargestellt. PTB-F- DM 32,50 ISBN 3-89429-151-6 H.Eckardt M.Otto report FRE1992 1992 PTB-F-11 90 , 59 Abbildungen, 3 Tabellen Überblick über den Stand der Koordinatenmeßtechnik. Integration in die Qualitätssicherung am Beispiel eines großen Automobilherstellers. PTB-F- DM 30,00 ISBN 3-89429-158-3 F.Wäldele R.Hegelmann E.Trapet report Ch1992 1992 PTB-F-14 96 Mit der Entwicklung und Erprobung einer Präzisionsgeradfüh-rung eines Präzisionsantriebes für Laserspiegel, den durchgeführten Untersuchungen sowie der Dimensionierung des gesamten Meßlasers wurde ein neues Prinzip der laserfrequenzgestützten Längenmessung im Bereich von 0 bis 20 mm mit Nanometerauflösung realisiert. PTB-F- DM 32,00 ISBN 3-89429-223-7 Ch.Jarzombeck report HK1992 1992 PTB-F-15 108 , 50 Abbildungen Ein EUROMET-Workshop über die Kalibrierung und Prüfung von Laserinterferometern (LI) in Berlin, an dem Vertreter vom metrologischen Instituten und Herstellern von LI aus 10 Ländernteilnahmen. Erfahrungsaustausch zu folgenden Problemen: Herstellung der Rückführbarkeit mittels LI., Kalibrierung von LI-Systemen und/oder Komponenten von LI., Prüfung und Abnahme von LI. PTB-F- DM 33,50 ISBN 3-89429-236-9 H.Kunzmann HerrmannK. (Hrsg.) report W1989_2 1989 PTB-F-6 78 , 39 Abbildungen, 2 Tabellen Es wurden Messungen unter eindeutig definierten Meßbedin-gungen nach DIN 4768 in 15 Laboratorien in 9 Ländern der EG durchgeführt. Meßobjekte waren ein Tiefen-Einstellnormal, drei PTB-Rauhnormale mit unregelmäßig geschliffenen Profilen und vier Etalons de Rugosita0e L.C.A. mit gedrehten Profilen. PTB-F- DM 26,00 ISBN 3-88314-924-1 W.Hillmann report D1989 1989 PTB-F-7 128 , 37 Abbildungen, 7 Tabellen Es wird ein zweistufiges Schätzverfahren (autoregressiver und exogener Modellansatz) vorgestellt und erprobt, das je Wägung sowohl die Meßgröße einschließlich ihrer Standardabweichung als auch die Systemparameter Periodendauer und wDrift liefert. Mit dem simulierten Ersatzsystem erzeugte Testreihen dienen zur Erprobung der Auswerte- und Schätzverfahren. PTB-F- DM 33,50 ISBN 3-88314-950-0 D.Beuke report D1988 1988 PTB-F-3 78 , 18 Abbildungen, 2 Tabellen Dieser Bericht faßt die Untersuchungen von He-Ne-Zweifre-quenzlasern zusammen, die im Laboratorium für Maßteilungen der PTB ausgeführt wurden und deren Ergebnisse seit 1972 veröffentlicht worden sind. Behandelt werden Methoden der Frequenzstabilisierung dieses Lasertyps, die sich in der Praxis bewährt haben. Ergebnisse der erreichten Frequenzstabilität werden angegeben. PTB-F- DM 26,00 ISBN 3-88314-801-6 D.Ullrich report GXinPG1988 1988 PTB-F-4 46 , 17 Abbildungen, 1 Tabelle Zur Untersuchung der Leistungsfähigkeit einer Winkelmeß-methode mit integrierender Phasenmessung wurde ein Expe-rimentieraufbau mit kommerziellen modularen Winkelmeßsys-temen unter Verwendung eines Mikroprozessors aufgebaut. Bei der angewandten Methode wird jede Winkelstellung unter Bezug auf den Vollkreis gemessen. PTB-F- DM 19,00 ISBN 3-88314-805-9 XiaG. Xin P.J.Dickers G.Wilkening report R1988 1988 PTB-F-5 128 Für die Messung der Richtungsänderung eines Lichtstrahls von ca. 2 uW Leistung wurden piezoelektrisch und elektrodynamisch angetriebene optoelektronische Nachführsysteme entwickelt und untersucht. PTB-F- DM 33,50 ISBN 3-88314-867-9 R.Krüger report WWKWR1987 1987 PTB-F-2 52 , 14 Abbildungen Es wurden Oberflächen von Zahnflanken untersucht, die sich durch das Herstellungsverfahren unterscheiden. Ihre Oberflä-chentextur wurde mit dem bekannten Tastschnittverfahren sowie durch Auswerten rasterelektronenmikroskopischer Stereoaufnahmen quantitativ bestimmt. Aus dem Vergleich der Meßergebnisse lassen sich Bedingungen ableiten, unter denen die entsprechenden Meßverfahren für Rauhheitsmessungen an technischen Oberflächen anzuwenden sind. PTB-F- DM 19,00 ISBN 3-88314-692-7 W.W.Beyer K.Eckolt W.Hillmann R.Wittekopf report U1986 1986 PTB-F-1 26 Das Programmpaket PCBM-DOS besteht aus acht Haupt- und fünf Unterprogrammen, mit denen eine Commodore-Diskettenspeichereinheit des Typs 8250, 8050, 4040 oder 2031 als zusätzliches Speichergerät an einem IBM-kompatiblen Personalcomputer (PC) betrieben werden kann. Hier werden die nötigen Informationen für eine Anwendung der Software vermittelt und Angaben über die mit den Programmen lösbaren Aufgaben und die für die Anwendung notwendigen Bedienungshinweise und Datenspezifikationen gegeben. PTB-F- DM 14,00 ISBN 3-88314-593-9 U.Hammerschmidt