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% --- Timezone: CEST
% Creation date: 2024-04-20
% Creation time: 05-51-08
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@Report { PTB-F-62,
   title = {Design of a high-precision microgear metrology system},
   year = {2019},
   number = {PTB-F-62},
   abstract = {Dissertation, Technische Universit{\"a}t Carolo-Wilhelmina zu Braunschweig, 2019},
   type = {PTB-Report},
   ISBN = {978-3-95606-455-5},
   ISSN = {0179-0609},
   author = {Jantzen, Stephan}
}

@Report { PTB-F-63,
   title = {Validation of evaluation algorithms in multidimensional coordinate metrology},
   year = {2019},
   number = {PTB-F-63},
   abstract = {Dissertation, Technische Universit{\"a}t Carolo-Wilhelmina zu Braunschweig, 2019},
   type = {PTB-Report},
   ISBN = {978-3-95606-457-9},
   ISSN = {0179-0609},
   author = {Hutzschenreuter, Daniel}
}

@Report { PTB-F-64,
   title = {Neues Verfahren zur Reduktion der Messunsicherheit bei der Bestimmung von Winkeln in drei Dimensionen},
   year = {2019},
   number = {PTB-F-64},
   abstract = {Dissertation, Technische Universit{\"a}t Carolo-Wilhelmina zu Braunschweig, 2019},
   type = {PTB-Report},
   ISBN = {978-3-95606-480-7},
   ISSN = {0179-0609},
   author = {Schumann, Matthias}
}

@Report { PTB-F-60,
   title = {A generic mathematical model for an unambiguous evaluation of cam profiles},
   year = {2018},
   number = {PTB-F-60},
   abstract = {Dissertation, Technische Universit{\"a}t Kaiserslautern, 2018},
   type = {PTB-Report},
   ISBN = {978-3-95606-406-7},
   ISSN = {0179-0609},
   author = {Lin, Shan}
}

@Report { PTB-F-61,
   title = {NanoWorkshop 2018},
   year = {2018},
   number = {PTB-F-61},
   abstract = {Workshop on Reference Nanomaterials
current situation and needs
development, measurement, standardization
PTB Berlin-Adelershof, BESSY II, Germany, May 14 \& 15, 2018},
   type = {PTB-Report},
   ISBN = {978-3-95606-440-1},
   ISSN = {0179-0609},
   author = {Bosse (Hrsg.), Harald}
}

@Report { PTB-F-58,
   title = {Ermittlung einer aufgabenspezifischen Messunsicherheit f{\"u}r Verzahnungsmessungen},
   year = {2017},
   number = {PTB-F-58},
   abstract = {Dissertation, Universit{\"a}t Bremen, Fachbereich Produktionstechnik, 2016},
   note = {Dissertation},
   type = {PTB-Report},
   ISBN = {978-3-95606-304-6},
   ISSN = {0179-0609},
   author = {Rost, Kerstin}
}

@Report { PTB-F-59,
   title = {Data Fusion in Cylindrical Form Metrology},
   year = {2017},
   number = {PTB-F-59},
   note = {Dissertation},
   type = {PTB-Report},
   ISBN = {978-3-95606-319-0},
   ISSN = {0179-0609},
   author = {Liu, Pei}
}

@Report { PTB-F-57,
   title = {Implementierung von Geradheitsmessungen am Nanometerkomparator der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt},
   year = {2016},
   number = {PTB-F-57},
   note = {Dissertation},
   type = {PTB-Report},
   ISBN = {978-3-95606-297-1},
   ISSN = {0179-0609},
   author = {Weichert, Christoph}
}

@Report { PTB-F-56,
   title = {Gesputterte, elektrisch isolierende Schichten f{\"u}r D{\"u}nnschichtsensoren auf metallischen Grundk{\"o}rpern},
   year = {2015},
   number = {PTB-F-56},
   note = {Dissertation},
   type = {PTB-Report},
   ISBN = {978-3-95606-233-9},
   ISSN = {0179-0609},
   author = {Schmaljohann, Frank}
}

@Report { 20711,
   title = {SEM based dimensional metrology},
   year = {2007},
   number = {PTB-F-52},
   pages = {CD-ROM},
   abstract = {The objective of the seminar was to report on current trends and developments in dimensional metrology based on scanning electron microscopy (SEM) and to discuss about future requirements in this field. The reason for organization of the seminar in 2006 was on the one hand the increasing application of SEM for industrial process control in different technology fields with topics of calibration and measurement capability linked to it and on the other hand some recent developments of SEM based measurement equipment at the PTB.
The presentations at the beginning of the seminar covered basic contrast mechanisms in SEM imaging and Monte Carlo based methods for SEM contrast simulation at micro- and nanostructure edges. In the following talks SEM based reference instrumentation for dimensional metrology at national metrology institutes were presented, supported by presentations concentrating on manufacturing and use of calibration standards for SEM.
The other presentations on the first seminar day covered different aspects of application of SEM in semiconductor and mask industry with a focus on reproducibility of measurement results and cross calibration between different type of measuring instruments.
The second day comprised talks concentrating on new developments in SEM instrumentation, covering new measuring principles and new signal analysis approaches for metrology as well. The seminar was closed with a session on photogrammetric measurement and analysis methods for 3D measurement structures and surfaces, a presentation on material testing by photogrammetry in SEM and application of a large chamber SEM for observation of micro-assembly and micro-machining processes.
The seminar had 67 registered participants coming from 9 different countries (Austria, Czech Republic, France, Germany, Israel, Netherlands, Sweden, United Kingdom, USA). In addition to the oral presentations a small poster session and 3 different PTB laboratory tours in the PTB division s of Optics and Precision Engineering were offered during the seminar. The evening reception on the first day allowed to intensify personal contacts as well as SEM related scientific discussions.},
   note = {SEM based dimensional metrology : 223rd PTB-Seminar in Braunschweig, Germany ; (PTB-Bericht PTB-F-52)},
   misc = {15,00 EUR},
   editor = {Bosse, Harald; 5.2, L{\"a}ngen- und Winkelteilungen, PTB-Braunschweig},
   type = {PTB-Report},
   ISBN = {ISBN 978-3-86509-647-0},
   ISSN = {ISSN 0179-0609}
}

@Report { 20486,
   title = {Ein Beitrag zur Entwicklung eines laserinterferometrischen Trackingsystems f{\"u}r die Genauigkeitssteigerung in der Koordinatenmesstechnik},
   year = {2007},
   number = {PTB-F-53},
   pages = {CD-ROM{\euro} 15,00},
   abstract = {Die Anforderungen an die Qualit{\"a}t, Vielseitigkeit und Belastbarkeit von Produkten steigt stetig. Die Industrie muss ihre Produkte in immer k{\"u}rzeren Entwicklungszyklen mit immer engeren Fertigungstoleranzen und einer zunehmend komplexeren Funktionalit{\"a}t entwickeln und anbieten. Daraus leiten sich immer h{\"o}here Anforderungen an die Fertigungsmesstechnik ab. Vor diesem Hintergrund wird in der vorliegenden Arbeit die Realisierung eines genauigkeitssteigernden Verfahrens f{\"u}r Koordinatenmessger{\"a}te durch den Einsatz eines neuen laserinterferometrischen Trackingsystems zur hochgenauen Kalibrierung verschiedenster Messaufgaben beschrieben.
Das Verfahren basiert auf der Implementierung eines hochgenauen Lasertrackers in ein Koordinatenmessger{\"a}t. Dieses liefert f{\"u}r jeden Messpunkt im Raum zus{\"a}tzlich zu den Koordinaten des Koordinatenmessger{\"a}tes eine weitere L{\"a}ngeninformation in der interessierenden Messrichtung (meist Normalenrichtung der Werkst{\"u}ckoberfl{\"a}che). Die mathematisch optimierte Einbindung dieser Zusatzinformation f{\"u}hrt zu einer aufgabenspezifischen Verringerung der Messunsicherheit.
F{\"u}r die Umsetzung dieses so genannten Additiv-Verfahrens eignen sich kommerzielle Lasertracker nicht, da ihre L{\"a}ngenmessungen mit einer zu gro{\ss}en Unsicherheit behaftet sind. Aus diesem Grund wurde ein neues laserinterferometrisches Trackingsystem, mit dem sich hochgenaue Abstandsmessungen im Raum durchf{\"u}hren lassen, entwickelt. Im Unterschied zu kommerziellen Lasertrackern beziehen sich bei dieser Entwicklung durch ein neues Prinzip der Laserstrahlnachf{\"u}hrung alle interferometrischen L{\"a}ngenmessungen auf einen langzeitstabilen Referenzpunkt im Raum. Hierdurch konnte die Messunsicherheit in den L{\"a}ngenmessungen erheblich reduziert werden.
Basierend auf der Systemintegration des hochgenauen interferometrischen Trackingsystems in ein Koordinatenmessger{\"a}t und der Softwareumsetzung des Additiv-Verfahrens konnte ein universeller L{\"o}sungsansatz zur Reduzierung der Messunsicherheit auf Koordinatenmessger{\"a}ten f{\"u}r einige dreidimensionale Messaufgaben entwickelt werden. Anhand einiger Messergebnisse kann gezeigt werden, dass sich auf der Basis des Additiv-Verfahrens Formmessungen an einfachen und komplexeren Objekten mit einer wesentlich geringeren Messunsicherheit durchf{\"u}hren lassen.
In industry, products are elaborated within development cycles that are becoming shorter and shorter, with production tolerances that are more and more close and with an increasingly complex functionality. This results in ever higher demands on production measuring techniques. Against this background, the present dissertation describes the realisation of an accuracy-increasing method for coordinate measuring machines. This so-called additive method is based on the implementation of a high-accuracy laser-interferometric tracking system in a coordinate measuring machine. For each measuring point in space, a further length measurement is carried out in the measuring direction concerned in addition to the coordinates of the coordinate measuring machine. The mathematically optimised integration of this additional information leads to a reduction in the measurement uncertainty.
The development of the laser-interferometric tracking system is a further focus of the present dissertation. This system is a special design of a laser tracker which allows interferometric length measurements in space. In the case of the interferometric tracking system, a new principle of laser beam tracking makes it possible to relate all interferometric length measurements to a long-term-stable reference point in space. By this, a considerably reduced measurement uncertainty in length measurements is achieved, which is documented by an extensive measurement uncertainty budget.
The application of the additive method requires the system integration of the interferometric tracking system in a coordinate measuring machine and the programming of corresponding measurement and evaluation software. The implementation described in this dissertation has enabled the development of an approach allowing the reduction of the measurement uncertainty with coordinate measuring machines for numerous 3-D measuring tasks. By means of measurement results, it is shown that, on the basis of the additive method, form measurements can be carried out on simple and more complex objects with a significantly lower measurement uncertainty. Taking into account determined influence quantities, the degree of the accuracy increase achievable can be optimised.},
   note = {Ein Beitrag zur Entwicklung eines laserinterferometrischen Trackingsystems f{\"u}r die Genauigkeitssteigerung in der Koordinatenmesstechnik ; (PTB-Bericht PTB-F-53) ; Zugl.: Ilmenau, Univ., Diss., 2007},
   misc = {{\euro} 15,00},
   editor = {Physikalisch-Technische Bundesanstalt},
   type = {PTB-Report},
   ISBN = {ISBN 978-3-86509-676-0 ; ISSN 0179-0609},
   author = {Kniel, Karin}
}

@Report { 22622,
   title = {Geometriebestimmung mit industrieller Computertomographie : aktueller Stand und Entwicklungen},
   year = {2007},
   number = {PTB-F-54},
   pages = {321},
   note = {Geometriebestimmung mit industrieller Computertomographie : aktueller Stand und Entwicklungen ; 229rd PTB-Seminar in Braunschweig ; (PTB-Bericht PTB-F-54)},
   editor = {Bartscher, Markus; 5.3, Koordinatenmesstechnik, PTB-Braunschweig},
   type = {PTB-Report},
   ISBN = {ISBN 978-3-86509-703-3 ; ISSN 0179-0609}
}

@Report { PTB-F-55,
   title = {3D Micro- and nanometrology : requirements and current developments ; Beitr{\"a}ge des 257. PTB-Seminars am 27. und 28. September 2010},
   year = {2007},
   number = {PTB-F-55},
   pages = {CD-ROM},
   note = {3D Micro- and nanometrology : requirements and current developments ; Beitr{\"a}ge des 257. PTB-Seminars am 27. und 28. September 2010},
   type = {PTB-Report},
   ISBN = {978-3-86918-103-5},
   ISSN = {0179-0609},
   author = {Danzebrink, Hans-Ulrich}
}

@Report { 17904,
   title = {Vergleichsmessungen mit optischen Koordinatenmessger{\"a}ten an einem speziellen 2D-Konturnormal},
   year = {2005},
   number = {PTB-F-50},
   pages = {32 , 32 tw. farb. Abb., 4 Tab.},
   abstract = {Es wird {\"u}ber Vergleichmessungen zwischen optischen Koordinaten-messger{\"a}ten an einem speziellen 2D-Konturnormal berichtet. Die Ergebnisse verdeutlichen den Stand der Technik bei der Messung komplexer 2D-Konturen mit optischen KMG. Die Referenzmessungen erfolgten mit einem Masken- und Wafer-Metrologiesystem. Es wurde experimentell nachgewiesen, dass die Qualit{\"a}t der Chromkanten einen entscheidenen Einfluss auf die Vergleichbarkeit von Messungen im Auflichtmodus und im Durchlichtmodus hat.},
   note = {Vergleichsmessungen mit optischen Koordinatenmessger{\"a}ten an einem speziellen 2D-Konturnormal ; (PTB-Bericht PTB-F-50)},
   misc = {{\euro} 10,00},
   editor = {Physikalisch-Technische Bundesanstalt},
   type = {PTB-Report},
   ISBN = {ISBN 3-86509-283-7},
   author = {Neugebauer, Michael and Neuschaefer-Rube, Ulrich}
}

@Report { 18563,
   title = {Der Antastprozess von Mikrotastern bei dimensionellen Messungen},
   year = {2005},
   number = {PTB-F-51},
   pages = {128 , 78 Abb., 5 Tab.},
   abstract = {Mikrosysteme sind funktionelle und intelligente Ger{\"a}te oder Maschinen, die Informationen aus der Umgebung erfassen und auf sie zugreifen. Sie k{\"o}nnen sich aus mechanischen, fluidischen, optischen sowie pneumatischen Komponenten und elektronischen Systemen zusammensetzen. Viele der Produkte oder Ger{\"a}te, die wir jeden Tag benutzen, sind gro{\ss} genug, um sie sehen und ber{\"u}hren zu k{\"o}nnen. Es k{\"o}nnen jedoch winzige Teile in sie eingebettet sein. Diese winzigen Teile k{\"o}nnen Mikrosysteme und Mikroprodukte sein.},
   note = {Der Antastprozess von Mikrotastern bei dimensionellen Messungen ; (PTB-Bericht PTB-F-51) ; Zugl.: Braunschweig, Univ., Diss., 2005},
   misc = {{\euro} 18,50},
   editor = {Physikalisch-Technische Bundesanstalt},
   type = {PTB-Report},
   ISBN = {ISBN 3-86509-432-5 ; ISSN 0179-0609},
   author = {Cao, Shizhi}
}

@Report { PTB-F-46,
   title = {Untersuchungen zur Signalentstehung mittels Sekund{\"a}relektronen an Mikrostrukturen in einem Niederspannungs Rasterelektronenmikroskop},
   year = {2003},
   number = {PTB-F-46},
   pages = {145 , 98 tw. farb. Abb., 5 Tab.},
   abstract = {Ziel dieser Arbeit war die Analyse der Sekund{\"a}relektronen-Signalentstehung an Mikrostrukturen in einem Niederspannungs-Rasterelektronenmikroskop, dem Elektronen-Optischen Metrologiesystem der PTB (EOMS). Die Vorgehensweise war dabei die Auftrennung der komplexen Signalentstehung in die einzelnen ger{\"a}te- und probenspezifischen Kontrastmechanismen, die einzeln quantitativ erfa{\ss}t wurden. Aus der Analyse der Signalentstehung sollten Algorithmen zur Charakterisierung der Kantenstruktur und zur Strukturbreitemessung abgeleitet werden, um damit Messungen der Strukturbreite an Silizium- und Photomasken-Strukturen durchzuf{\"u}hren und mit den Ergebnissen anderer Me{\ss}methoden zu vergleichen. Erstmals wurde die gesamte Signalentstehungskette eines Metrologie-SEMs analysiert und der Einflu{\ss} jeder Komponente der Signalentstehungskette auf Strukturbreitemessungen untersucht.},
   note = {Requirements and recent developments in high precision length metrology : proceedings of the 159. PTB-Seminar ; (PTB-Bericht PTB-F-45)},
   misc = {19,50 EUR},
   type = {PTB-Report},
   ISBN = {ISBN: 978-3-89701-953-9},
   author = {Frase, Carl Georg}
}

@Report { 10495,
   title = {Entwicklung eines kombinierten Nahfeldmikroskopie- und -spektroskopiesystems : Bericht {\"u}ber das BMBF-Vorhaben 13N7643/6},
   year = {2003},
   number = {PTB-F-47},
   pages = {100 , 66 tw. farbige Abb.},
   abstract = {Im Zentrum dieses Projekts steht das innovative Konzept eines kompakten Sensor-Objektivs, das gleichzeitig als konventionelles Mikrospobjektiv und als SFM- und nachfeld-optischer Mikroskopkopf verwendet werden kann. Dieses Sensor-Objektiv basiert auf einem Spielobjektiv, welches direkt in den Revolver eines optischen Standardmikroskops eingeschraubt werden kann. Zus{\"a}tzlich enth{\"a}lt es eine kompakte Rasterkraftmikroskop-(SFM)- Sensoreinheit. Das damit realisierbare Prinzip eines austauschbaren Messkopfes ist die Grundlage aller Entwicklungen in diesem Vorhaben. Das gilt sowohl f{\"u}r den Raum- als auch f{\"u}r den Tieftempearturaufbau. In allen Messsystemen lassen sich wahlweise Standardobjektive und unsere Sensor-Objektive einsetzen. Es wurden drei Prototypen des Sensor-Objektivs in verschiedenen Versionen aufgebaut und getestet.},
   note = {Entwicklung eines kombinierten Nahfeldmikroskopie- und -spektroskopiesystems : Bericht {\"u}ber das BMBF-Vorhaben 13N7643/6 ; (PTB-Bericht PTB-F-47)},
   misc = {17,00 EUR},
   editor = {Physikalisch-Technische Bundesanstalt},
   type = {PTB-Report},
   ISBN = {ISBN 3-86509-064-8},
   ISSN = {ISSN 0179-0609},
   author = {Dal Savio, Claudio and Dziomba, Thorsten and Kazantsev, Dmitri and Danzebrink, Hans-Ulrich}
}

@Report { 18549,
   title = {CD-Metrology Proceedings of the 188th PTB-Seminar, 20th Nov. 2003},
   year = {2003},
   number = {PTB-F-48},
   pages = {189 , zahlr. Abb.},
   abstract = {In the end of November 2003 the 188th PTB-Seminar entitled ''CD Metrology'' took place in conjunction with the 187th PTB-Seminar on ''Current Developments in Microscopy''. Both oneday seminars were supported by the Helmholtz-Fonds. The 188th PTB-seminar was intended to bring together experts from industry, science and metrology institutes to discuss about the requirements and recent developments in the metrology of the widths of micro- and nanostructures on masks and wafers, which are used to manufacture integrated circuit devices. This topic is often called CD metrology, where CD is short for critical dimension. About 90 attendees from 10 countries joined the 187th PTB-seminar.},
   note = {CD-Metrology : proceedings of the 188th PTB-Seminar, 20th Nov. 2003 ; (PTB-Bericht PTB-F-48)},
   misc = {{\euro} 21,50},
   editor = {Bosse, Harald; 5.2, L{\"a}ngen- und Winkelteilungen, PTB-Braunschweig
Bodermann, Bernd; 4.2, Bild- und Wellenoptik, PTB-Braunschweig
Mirand{\'e}, Werner; 4.2, Bild- und Wellenoptik, PTB-Braunschweig},
   type = {PTB-Report},
   ISBN = {ISBN 3-86509-113-X},
   ISSN = {ISSN 0179-0609},
   author = {Bodermann, Bernd [speaker] and Mirand{\'e}, Werner}
}

@Report { 19054,
   title = {Requirements and recent developments in high precision angle metrology
Proceedings of the 186th PTB-Seminar, 5th Nov. 2003},
   year = {2003},
   number = {PTB-F-49},
   pages = {128 , zahlr. Abb},
   note = {Requirements and recent developments in high precision angle metrology : proceedings of the 186th PTB-Seminar, 5th November 2003 ; (PTB-Bericht PTB-F-49)},
   misc = {{\euro} 18,50},
   editor = {Probst, Reinhard; 5.2, L{\"a}ngen- und Winkelmesstechnik, PTB-Braunschweig
Bosse, Harald; 5.2, L{\"a}ngen- und Winkelmesstechnik, PTB-Braunschweig},
   type = {PTB-Report},
   ISBN = {ISBN 3-86509-112-1},
   ISSN = {ISSN 0179-0609},
   author = {Geckeler, Ralf D.}
}

@Report { 15757,
   title = {Proceedings of the 5th seminar on quantitative microscopy and 1st seminar on nanoscale calibration standards and methods : NanoScale 2001},
   year = {2002},
   number = {PTB-F-44},
   pages = {214 , 220 Abb., 25 Tab.},
   abstract = {In 31 Beitr{\"a}gen wird ein Einblick in den derzeitigen Stand der quantitativen Erfassung von Oberfl{\"a}chenstrukturen im Nanometerbereich vermittelt. Die Beitr{\"a}ge verteilen sich nahezu gleichm{\"a}{\ss}ig auf die Themenbereiche: Normale und Kalibriermethoden – Angewandte Messungen – Neue Instrumente und Messmethoden. Die Rastersondenmikroskopie bildet mit mehr als der H{\"a}lfte der Beitr{\"a}ge den instrumentellen Schwerpunkt. Thematischer Schwerpunkt ist die Messung von Stufenh{\"o}hen und die Kalibrierung von Messger{\"a}ten in der entsprechenden z-Achse.},
   note = {Proceedings of the 5th seminar on quantitative microscopy and 1st seminar on nanoscale calibration standards and methods : NanoScale 2001 ; Dimensional measurements in the micro- and nanometre range ; (PTB-Bericht PTB-F-44)},
   misc = {{\euro} 23,00},
   editor = {Hasche, Klaus; 5, Fertigungsmesstechnik, PTB-Braunschweig
Mirand{\'e}, Werner; 4.22, Bildanalyse, PTB-Braunschweig
Wilkening, G{\"u}nter; 5.1, Nano- und Mikrometrologie, PTB-Braunschweig},
   type = {PTB-Report},
   ISBN = {ISBN: 978-3-89701-840-2}
}

@Report { 14355,
   title = {Entwicklung eines neuartigen Interferenzkomparators f{\"u}r zylindrische und kubische Ma{\ss}verk{\"o}rperungen},
   year = {2001},
   number = {PTB-F-40},
   pages = {128},
   note = {Entwicklung eines neuartigen Interferenzkomparators f{\"u}r zylindrische und kubische Ma{\ss}verk{\"o}rperungen ; (PTB-Bericht PTB-F-40) ; Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss.},
   editor = {Physikalisch-Technische Bundesanstalt},
   type = {PTB-Report},
   ISBN = {ISBN 3-89701-641-9 ; ISSN 0179-0609},
   author = {Neugebauer, Michael}
}

@Report { 13761,
   title = {Messung dreidimensionaler Mikrostrukturen},
   year = {2001},
   number = {PTB-F-41},
   pages = {VII, 109},
   note = {Messung dreidimensionaler Mikrostrukturen ; (PTB-Bericht PTB-F-41) ; Zugl.: Braunschweig, Univ., Diss.},
   editor = {Physikalisch-Technische Bundesanstalt},
   type = {PTB-Report},
   ISBN = {ISBN 3-89701-698-2},
   author = {Kleine-Besten, Thomas}
}

@Report { 14958,
   title = {Angle calibration on precision polygons : final report of EUROMET project \# 371},
   year = {2001},
   number = {PTB-F-43},
   pages = {Getr. Z{\"a}hlung},
   note = {Angle calibration on precision polygons ; PTB-Bericht PTB-F-43},
   type = {PTB-Report},
   ISBN = {ISBN 3-89701-769-5 ; ISSN 0179-0609},
   author = {Probst, Reinhard and Wittekopf, Reiner}
}

@Report { 15763,
   title = {Requirements and recent developments in high precision length metrology : proceedings of the 159. PTB-Seminar},
   year = {2001},
   number = {PTB-F-45},
   pages = {236 , 304 Abb., 4 Tab.},
   note = {Requirements and recent developments in high precision length metrology : proceedings of the 159. PTB-Seminar ; (PTB-Bericht PTB-F-45)},
   misc = {{\euro} 24,00},
   editor = {Bosse, Harald; 5.2, L{\"a}ngen- und Winkelmesstechnik, PTB-Braunschweig
Fl{\"u}gge, Jens; 5.203, Nanometerkomparator, PTB-Braunschweig},
   type = {PTB-Report},
   ISBN = {ISBN 3-89701-841-1},
   ISSN = {ISSN 0179-0609}
}

@Report { PTB-F-39,
   title = {Proceedings of the 4th Seminar on Quantitative Microscopy QM 2000 : dimensional measurements in the micro- and nanometre range, applications, challenges, state-of-the-art},
   year = {2000},
   number = {PTB-F-39},
   pages = {230},
   abstract = {In this work we present a process for the production of calibration chips containing submicron structures made from plastic by injection molding, using an adapted molding process commonly used for the production of compact discs (CDs). The CD molding tool was modified by inserting a silicon wafer which had been structured with regular test-patterns with grating periods down to 120 nm by electron-beam lithography. Hundreds of CDs carrying replicas of the test pattern were molded on an automatic injection molding machine with cycle times down to 10s.},
   note = {Proceedings of the 4th Seminar on Quantitative Microscopy QM 2000 : dimensional measurements in the micro- and nanometre range, applications, challenges, state-of-the-art ; (PTB-Bericht PTB-F-39)},
   misc = {24,00 EUR},
   editor = {Hasche, Klaus; 5, Fertigungsmesstechnik, PTB-Braunschweig
Mirand{\'e}, Werner; 4.22, Bildanalyse, PTB-Braunschweig
Wilkening, G{\"u}nter; 5.1, Nano- und Mikrometrologie, PTB-Braunschweig},
   type = {PTB-Report},
   ISBN = {ISBN: 978-3-89701-503-6},
   DOI = {ISSN 0179-0609},
   author = {Mirand{\'e}, Werner and Frase, Carl Georg and Bosse, Harald}
}

@Report { 14924,
   title = {Interferenzkomparator zur L{\"a}ngenmessung mit tunnelmikroskopischen Tastern},
   year = {2000},
   number = {PTB-F-42},
   pages = {Getr. Z{\"a}hlung},
   note = {Interferenzkomparator zur L{\"a}ngenmessung mit tunnelmikroskopischen Tastern ; (PTB-Bericht PTB-F-42) ; Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss.},
   editor = {Physikalisch-Technische Bundesanstalt},
   type = {PTB-Report},
   ISBN = {ISBN 3-89701-720-2 ; ISSN 0179-0609},
   author = {Harms, Christian H.}
}

@Report { EMFHFMAFPMHGTN1999,
   title = {Traceability of Coordinate Measurements According to the Method of the Virtual Measuring Machine - Part 2 of the Final Report Projekt MAT1-CT94-0076},
   year = {1999},
   number = {PTB-F-35},
   pages = {148 , 42 Abbildungen, 6 Tabellen},
   abstract = {Die Richtlinie beschreibt die Methode des ''Virtuellen KMG'', also die Unsicherheitsberechnung durch rechnergest{\"u}tzte {\"U}berlagerung elementarer Unsicherheitseinfl{\"u}sse. Sie wendet sich an den KMG-Anwender, an Laboratorien, die KMG kalibrieren und an Hersteller von KMG. Es ist beschrieben, wie die elementaren Unsicherheitsbeitr{\"a}ge durch Messung oder Absch{\"a}tzung ermittelt werden und welches Modell der Berechnung der Ge-samtunsicherheit einer Me{\ss}aufgabe zugrunde liegt.},
   keywords = {PTB-F-},
   misc = {DM 38,50},
   ISBN = {ISBN 3-89701-330-4},
   author = {Trapet, E. and Franke, M. and H{\"a}rtig, F. and Schwenke, H. and W{\"a}ldele, F. and Cox, M. and Forbes, A. and Delbressine, F. and Schellekens, P. and Trenk, M. and Meyer, H. and Moritz, G. and Guth, Th. and Wanner, N.}
}

@Report { H1999_2,
   title = {Absch{\"a}tzung von Me{\ss}unsicherheiten durch Simulation an Beispielen aus der Fertigungstechnik},
   year = {1999},
   number = {PTB-F-36},
   pages = {146 , 55 Abbildungen, 34 Tabellen},
   abstract = {Zun{\"a}chst werden die bestehenden Verfahren und Richtlinien zur Ermittlung der Me{\ss}unsicherheit kurz dargestellt und den Anforderungen der Fertigungsme{\ss}technik gegen{\"u}bergestellt, dann das Prinzip der Simulation beschrieben und ein modulares Konzept vorgestellt, das zur Unsicherheitsbestimmung von Me{\ss}prozessen in der dimensionellen Me{\ss}technik dienen kann. Daraufhin erfolgte experimentell eine {\"U}berpr{\"u}fung durch die Messung der Modelle mit jeweils zwei Me{\ss}ger{\"a}ten unterschiedlicher Genauigkeitsklassen und dabei ein Vergleich mit den Me{\ss}unsicherheiten der gemessenen Werte an Normalen, die durch Simulation ermittelt wurden.},
   keywords = {PTB-F-},
   misc = {DM 38,00},
   ISBN = {ISBN 3-89701-373-8},
   author = {Schwenke, H.}
}

@Report { O1999,
   title = {Calibration of a step gauge - Final Report of EUROMET Project \#372},
   year = {1999},
   number = {PTB-F-37},
   pages = {26 s., 13 Abbildungen, 4 Tabellen},
   abstract = {Im Rahmen des EUROMET-Projektes 372 f{\"u}hrten sieben Europ{\"a}ische Metrologische Staatsinstitute eine Vergleichsmessung an einem Stufenendma{\ss} (STEM) der Nominall{\"a}nge 420 mm durch. Der Bericht reflektiert die Ergebnisse.},
   keywords = {PTB-F-},
   misc = {DM 29,00},
   ISBN = {ISBN 3-89701-415-7},
   author = {Jusko, O.}
}

@Report { OF1999,
   title = {Final Report of the CIRP Form Intercomparison},
   year = {1999},
   number = {PTB-F-38},
   pages = {80},
   abstract = {Zwischen 1996 und 1998 wurde von CIRP ein weltweiter Ringvergleich von Formmessungen organisiert. Unter den Teilnehmern waren Universit{\"a}ten, nationale Metrologieinstitute (NMI) und industrielle Anwender. Die Me{\ss}gr{\"o}{\ss}en waren Rundheit, Geradheit und Parallelit{\"a}t. Zum ersten Mal wurden Koordinatenme{\ss}ger{\"a}te (KMG) und Formme{\ss}ger{\"a}te in einer Vergleichsmessung direkt verglichen. Dieser Bericht pr{\"a}sentiert und analysiert die Ergebnisse. Die Resultate sind vielversprechend. Doch werden auch typische Probleme der Formme{\ss}technik sichtbar.},
   keywords = {PTB-F-},
   misc = {DM 29,00},
   ISBN = {ISBN 3-89701-472-6},
   author = {Jusko, O. and L{\"u}dicke, F.}
}

@Report { AH1998,
   title = {Nanostrukturen in Halbleitern},
   year = {1998},
   number = {PTB-F-31},
   pages = {134},
   abstract = {Hier spannt sich der Bogen von der Physik {\"u}ber Herstellung und Charakterisierung bis zum industriellen Einsatz von Bauelementen mit Dimensionen im nm-Bereich. Es handelt sich hierbei um ein eindrucksvolles Beispiel f{\"u}r die vehemente Umsetzung neuer Prinzipien in die wirtschaftliche Nutzung.},
   keywords = {PTB-F-},
   misc = {DM 37,00},
   ISBN = {ISBN 3-89701-115-8},
   author = {Schlachetzki, A. and H. (Hrsg.), Kunzmann}
}

@Report { X1998,
   title = {Scanning Probe Microscope with High Resolution Capacitive Transducers},
   year = {1998},
   number = {PTB-F-32},
   pages = {158 , 105 Abbildungen, 8 Tabellen},
   abstract = {Im Bericht wird detailliert auf Theorie und Anwendung von Plattenkondensatoren f{\"u}r die Wegmessung mit Subnano-meteraufl{\"o}sung eingegangen. Der Aufbau eines Scanapparates aus Bimorph Piezos wird beschrieben sowie dessen Bewegungsablauf analysiert. Einen breiten Raum nimmt auch die Kalibrierung des Scanapparates mit integrierten Kondensatoren mit Hilfe eines Laserinferometers sowie die Analyse der Me{\ss}-abweichungen ein. Der Einsatz des Rastersondenmikroskops f{\"u}r L{\"a}ngenmessungen ein- und zweidimensionaler Strukturen sowie spezieller Normale f{\"u}r Rastersondenmikroskope wird de-tailliert beschrieben und Me{\ss}abweichungen analysiert.},
   keywords = {PTB-F-},
   misc = {DM 39,50},
   ISBN = {ISBN 3-89701-207-3},
   author = {Zhao, X.}
}

@Report { H1998_2,
   title = {Air refractometry in a length comparator and the response to changes in the measurement environment},
   year = {1998},
   number = {PTB-F-33},
   pages = {20 Seiten},
   abstract = {Es werden Ergebnisse der Luftrefraktometrie vorgestellt, die an einem L{\"a}ngenkomparator der PTB sowohl bei optimierten als auch bei unausgeglichenen Bedingungen innerhalb des Me{\ss}-laboratoriums gewonnen wurden. Ziel war es, die erreichbaren Grenzen minimaler Me{\ss}unsicherheit f{\"u}r den effektiven Bre-chungsindex unter nahezu optimalen Me{\ss}bedingungen bei optischen Gangunterschieden in der Luft von bis zu ca. 1m nachzuweisen (U {\`E} 1{\`a} 10-8).},
   keywords = {PTB-F-},
   misc = {DM 16,50},
   ISBN = {ISBN 3-89701-264-2},
   author = {Pieles, H.}
}

@Report { KvonWG1998,
   title = {Proceedings of the 3rd Seminar on quantitative Microscopy Geometrical measurements in the micro- and nanometre range with far and near fields methods, November 1998},
   year = {1998},
   number = {PTB-F-34},
   pages = {134 Seiten},
   abstract = {Der Bericht ist in die Abschnitte ''Instrumentation - Calibration - Application'' gegliedert. Wie auch bei den vorangegangenen Seminaren dieser Reihe liegt der Schwerpunkt der Arbeiten auf dem Gebiet der Rastersondenmikroskopie (SPM), wobei der Themenbereich Ger{\"a}teentwicklung, Referenznormale und Kali-brierungen entsprechend dem Thema des Seminars besonders vielf{\"a}ltig behandelt wird. Daneben wird {\"u}ber Anwendung von SPMs in der Oberfl{\"a}chenme{\ss}technik berichtet.},
   keywords = {PTB-F-},
   misc = {DM 37,00},
   ISBN = {ISBN 3-89701-280-4},
   author = {K. von, Hasche and Mirand{\'e}, W. and G. (Eds.), Wilkening}
}

@Report { P1997,
   title = {Interferometer mit wellenl{\"a}ngenmoduliertem Diodenlaser f{\"u}r die Oberfl{\"a}chenme{\ss}technik},
   year = {1997},
   number = {PTB-F-25},
   pages = {102 , 77 Abbildungen, 8 Tabellen},
   abstract = {Es wurden zwei Verfahren der Interferenzsignalauswertung untersucht, die auf der Durchstimmbarkeit der Wellenl{\"a}nge des Diodenlasers basieren. Der erste Ansatz f{\"u}hrt zu einem nichtz{\"a}hlenden Interferometer. Im zweiten Ansatz wurde ein z{\"a}hlendes Interferometer realisiert, bei dem die modulierten Interferenzsignale mit Hilfe eines digitalen Signalprozesses direkt im Zeitbereich ausgewertet werden.},
   keywords = {PTB-F-},
   misc = {DM 33,50},
   ISBN = {ISBN 3-89429-822-7},
   author = {Wiese, P.}
}

@Report { R1997_2,
   title = {Nanostrukturierung mit dem Rastertunnelmikroskop},
   year = {1997},
   number = {PTB-F-26},
   pages = {114 , 54 Abbildungen, 1 Tabelle},
   abstract = {Nach einer Vorstellung der bisherigen Ergebnisse aus Nano-strukturierungsexperimenten erfolgt eine Vorauswahl aus den bekannten Strukturierungsverfahren. Danach folgt eine Darstellung der theoretischen Grundlagen des Rastertunnelmikroskops und der Abscheidungsmechanismen und der Ergebnisse der Untersuchungen nach dem ausgew{\"a}hlten Impulsverfahren.},
   keywords = {PTB-F-},
   misc = {DM 35,00},
   ISBN = {ISBN 3-89429-829-4},
   author = {K{\"o}ning, R.}
}

@Report { HU1997,
   title = {Nahfeldmikroskopischer Sensor mit interner Signalwandlung},
   year = {1997},
   number = {PTB-F-27},
   pages = {112 , 60 Abbildungen, 16 Tabellen},
   abstract = {Das Grundkonzept der optoelektronischen Nahfeldsonden wird vorgestellt. Es werden die Herstellung und Charakterisierung dieser Sonden sowie die grundlegenden Untersuchungen der Kantendetektoren, die dem Nachweis der hohen lateralen Aufl{\"o}sung dieser Sonden dienen, als auch die Entwicklung der Cantilever-Detektoren beschrieben.},
   keywords = {PTB-F-},
   misc = {DM 34,50},
   ISBN = {ISBN 3-89429-830-8},
   author = {Danzebrink, H.-U.}
}

@Report { HJC1997,
   title = {Proze{\ss}peripherie PP2 - Leistungsmerkmale und Anwen-dungshinweise},
   year = {1997},
   number = {PTB-F-28},
   pages = {48 , 17 Abbildungen, 2 Tabellen},
   abstract = {Es werden der Aufbau, die Systemsteuerung und die Funktion der Proze{\ss}peripherie PP2 beschrieben. Neben einer allgemeinen Information {\"u}ber elektronische Entwicklungen in der PTB soll der Bericht gleichzeitig den vielen Benutzern der Proze{\ss}peripherie als Handbuch dienen.},
   keywords = {PTB-F-},
   misc = {DM 22,50},
   ISBN = {ISBN 3-89701-020-8},
   author = {Schuster, H.-J. and Hora, C.-J.}
}

@Report { AZeidA1997,
   title = {Nichtlinearit{\"a}ten in den Strahlungleistungs- und Spannungs-Kennlinien indexgef{\"u}hrter Diodenlaser},
   year = {1997},
   number = {PTB-F-29},
   pages = {38 , 40 Abbildungen},
   abstract = {Das vorgestellte Me{\ss}verfahren erlaubt die einfache Messung von Nichtlinearit{\"a}ten in den Leistung-Strom und Spannung-Strom-Kennlinien ohne einen zus{\"a}tzlichen optischen Aufbau. F{\"u}r die Messung der ersten und zweiten Ableitung der Leistung-Strom-Kennlinie mit Hilfe der im Lasergeh{\"a}use integrierten Monitorphotodiode wurde nur ein Oszillator und ein Lock-In-Verst{\"a}rker verwendet.},
   keywords = {PTB-F-},
   misc = {DM 20,50},
   ISBN = {ISBN 3-89701-079-8},
   author = {A.-Zeid, Abou and Vogel, A.}
}

@Report { KWG1997,
   title = {Proceedings of the 2nd Seminar on Quantitative Microscopy: Geometrical measurements in the micro- and nanometre range with far and near field methods},
   year = {1997},
   number = {PTB-F-30},
   pages = {218 , 164 Abbildungen, 9 Tabellen},
   abstract = {Der Bericht fa{\ss}t 31 Beitr{\"a}ge zusammen, die w{\"a}hrend des Seminars pr{\"a}sentiert wurden, und stellt die quantitative Erfassung der Geometrie von (Mikro-) Strukturen in den Mittelpunkt. Schwerpunkt ist der Themenbereich ''Referenz-SPM, Erfassen und Ber{\"u}cksichtigen der Spitzenform, Spitze-Oberfl{\"a}che-Wechselwirkung, Referenznormale und deren Kalibrierung sowie Kalibrierung von SPMs in der Oberfl{\"a}chenme{\ss}technik.''},
   keywords = {PTB-F-},
   misc = {DM 45,50},
   ISBN = {ISBN 3-89701-082-8},
   author = {Hasche, K. and Mirand{\'e}, W. and G. (Eds.), Wilkening}
}

@Report { J1996,
   title = {Vergleichende Untersuchungen zur me{\ss}technischen Leistungsf{\"a}higkeit von Laserinterferometern und inkrementellen Ma{\ss}stabme{\ss}systemen},
   year = {1996},
   number = {PTB-F-23},
   pages = {118},
   abstract = {Als Referenz f{\"u}r Vergleichsmessungen bei variierenden Umgebungsbedingungen wurde ein Interferenzkomparator aufgebaut, bei dem der gesamte Interferometerstrahlengang im Vakuum angeordnet ist. Eine weitere Me{\ss}anordnung mit einem kapaziti-ven Me{\ss}system als Referenz wurde zur Untersuchung von In-terpolationsabweichungen eingesetzt. Um die Temperaturvertei-lung w{\"a}hrend der Vergleichsmessungen bestimmen zu k{\"o}nnen, wurde ein pr{\"a}zises Mehrkanal-Temperaturme{\ss}system f{\"u}r Pt 100 Sensoren entwickelt.},
   keywords = {PTB-F-},
   misc = {DM 35,50},
   ISBN = {ISBN 3-89429-683-6},
   author = {Fl{\"u}gge, J.}
}

@Report { A1996,
   title = {Verbesserte Positionsbestimmung von Strukturen auf Photomasken},
   year = {1996},
   number = {PTB-F-24},
   pages = {114 , 1 Abbildung, 81 Tabellen},
   abstract = {Es sind die Verfahren 1.) Fehlervermeidung durch Kalibrierung, F{\"u}hrungskorrektur und Fehlerkompensation sowie durch 2.) Fehlerkorrektur mittels Fehlergleichungen und Messen unter ver{\"a}nderten Bedingungen verschiedene Ans{\"a}tze theoretisch und praktisch an einem Versuchsaufbau {\"u}berpr{\"u}ft worden.},
   keywords = {PTB-F-},
   misc = {DM 35,00},
   ISBN = {ISBN 3-89429-741-7},
   author = {Siebert, A.}
}

@Report { HH1995,
   title = {Temperature Measurements in Dimensional Metrology},
   year = {1995},
   number = {PTB-F-17},
   pages = {72},
   abstract = {In October 1993 an EUROMET workshop on Temperature Measurements in Dimensional Metrology was held in Braunschweig. This PTB report is a collection of the manuscripts.},
   keywords = {PTB-F-},
   misc = {DM 27,50},
   ISBN = {ISBN 3-89429-562-7},
   author = {Kunzmann, H. and H.-J. (Ed.), Schuster}
}

@Report { X1995,
   title = {Hochaufl{\"o}sende dreidimensionale Positionierungsbestim-mung bei Rastersondenmikroskopen mittels kapazitiver Aufnehmer},
   year = {1995},
   number = {PTB-F-20},
   pages = {190 , 110 Abbildungen, 9 Tabellen},
   abstract = {Als wichtiger Schritt f{\"u}r die Anwendung des SXM in der Nano-metrologie wurde ein Verfahren zur Positionierung der Spitze eines STM mit Hilfe kapazitiver Aufnehmer entwickelt und untersucht. Mathematische Modelle f{\"u}r die Berechnung des Plattenkondensators mit Schutzringelektrode als Wegaufnehmer wurden diskutiert und verbessert. F{\"u}r universelle Anwendungen wurde auch eine analoge Kompensation der Linearit{\"a}ts-abweichung entwickelt.},
   keywords = {PTB-F-},
   misc = {DM 42,50},
   ISBN = {ISBN 3-89429-663-1},
   author = {Zhao, X.}
}

@Report { KWG1995,
   title = {Proceedings of the International Seminar on Quantitative Microscopy},
   year = {1995},
   number = {PTB-F-21},
   pages = {152 , 155 Abbildungen, 7 Tabellen},
   abstract = {Die Beitr{\"a}ge befassen sich mit me{\ss}technischen Aspekten lichtoptischer, elektronenoptischer und rastermikroskopischer Verfahren zur Messung der Geometrie von Mikrostrukturen. Dabei wurden sowohl instrumentelle Aspekte betrachtet als auch Kalibrierung und weitergehende Anwendungen. Der Schwerpunkt liegt auf dem Gebiet der Rastersondenmikroskopie.},
   keywords = {PTB-F-},
   misc = {DM 38,50},
   ISBN = {ISBN 3-89429-921-5},
   author = {Hasche, K. and W.0e, Miranda and G. (Eds.), Wilkening}
}

@Report { D1995,
   title = {Entwicklung von Methoden zur Bestimmung der Me{\ss}un-sicherheit von Triangulationssensoren in der Koordinatenme{\ss}technik},
   year = {1995},
   number = {PTB-F-22},
   pages = {140 , 84 Abbildungen, 7 Tabellen},
   abstract = {Es wird die Wechselwirkung der Eigenschaften eines Me{\ss}ob-jektes mit den Eigenschaften von Triangulationssensoren eingehend untersucht. Diese Wechselwirkung ist wesentlicher Faktor der Me{\ss}unsicherheit von Triangulationssensoren. Es werden Methoden zur Bestimmung der Me{\ss}unsicherheit sowie zur Verbesserung der Me{\ss}genauigkeit von Triangulationssensoren in der Koordinatenme{\ss}technik vorgeschlagen.},
   keywords = {PTB-F-},
   misc = {DM 37,50},
   ISBN = {ISBN 3-89429-666-6},
   author = {H{\"u}ser, D.}
}

@Report { HHrsg1994,
   title = {Schwerpunktprogramm ''Sensorsysteme'' - Abschlu{\ss}kol-loquium vom April 1994 in Braunschweig},
   year = {1994},
   number = {PTB-F-12},
   pages = {298 , 241 Abbildungen, 26 Tabellen},
   abstract = {Das Schwerpunktprogramm der Deutschen Forschungsgemeinschaft ''Sensorsysteme'' wird vorgestellt und diskutiert.},
   keywords = {PTB-F-},
   misc = {DM 54,00},
   ISBN = {ISBN 3-89429-454-X},
   author = {H. (Hrsg.), Kunzmann}
}

@Report { H1994,
   title = {Aspekte der Filterung in der Formme{\ss}technik},
   year = {1994},
   number = {PTB-F-13},
   pages = {40 , 22. Abbildungen, 7 Tabellen},
   abstract = {Es wird {\"u}ber die in der Formme{\ss}technik zur Me{\ss}signalverarbei-tung verwendeten Profilfilter berichtet.},
   keywords = {PTB-F-},
   misc = {DM 20,50},
   ISBN = {ISBN 3-89429-452-3},
   author = {Bosse, H.}
}

@Report { GHrsg1994,
   title = {Silicium in der Me{\ss}technik - Vortr{\"a}ge des 104. PTB-Seminars},
   year = {1994},
   number = {PTB-F-18},
   pages = {224 , 70 Abbildungen, 5 Tabellen},
   abstract = {Die genaue Bestimmung der Avogadro-Zahl N. (Anzahl der Mole-k{\"u}le pro Mol) als eine der Fundamentalkonstanten der Physik mit Hilfe von hochreinem, monokristallinem Silicium in der PTB brachte die zwangsl{\"a}ufige Auseinandersetzung mit den Eigenschaften dieses in vieler Hinsicht idealen Materials mit sich.},
   keywords = {PTB-F-},
   misc = {DM 46,00},
   ISBN = {ISBN 3-89429-469-8},
   author = {G. (Hrsg.), Wilkening}
}

@Report { KK1994,
   title = {Gaslaser-Applikationen f{\"u}r L{\"a}ngen- u. Brechzahlmessungen},
   year = {1994},
   number = {PTB-F-19},
   pages = {110 , 87 Abbildungen, 3 Tabellen},
   abstract = {Folgende Themen: Optische Resonatoren und Gaslaser (543 und 633 mm), Messung der Luftbrechzahl, optische Schichten f{\"u}r Ein- und Mehrfarbeninterferometrie und Kalibrierung von Laserme{\ss}systemen.},
   keywords = {PTB-F-},
   misc = {DM 34,50},
   ISBN = {ISBN 3-89429-476-0},
   author = {Hasche, K. and K. (Hrsg.), Herrmann}
}

@Report { AH1993,
   title = {Nanostrukturen und d{\"u}nne Schichten},
   year = {1993},
   number = {PTB-F-16},
   pages = {188 , 118 Abbildungen, 5 Tabellen},
   abstract = {Ein {\"U}berblick {\"u}ber den aktuellen Stand von Techniken und Verfahren zur Erzeugung von Strukturen im Mikro- und Nanometerbereich sowie {\"u}ber Techniken zur Abscheidung und Charakterisierung d{\"u}nner Schichten, speziell auf Silizium.},
   keywords = {PTB-F-},
   misc = {DM 41,50},
   ISBN = {ISBN 3-89429-413-2},
   author = {Schlachetzki, A. and H. (Hrsg.), Kunzmann}
}

@Report { W1992_2,
   title = {Kommentar zur Richtlinie zum Kalibrieren von Tastschnitt-ger{\"a}ten im DKD/1/},
   year = {1992},
   number = {PTB-F-8},
   pages = {40 , 4 Abbildungen},
   abstract = {Nationale und internationale Vergleichsmessungen an Rauhnormalen mit Tastschnittger{\"a}ten /1/.},
   keywords = {PTB-F-},
   misc = {DM 19,50},
   ISBN = {ISBN 3-89429-148-6},
   author = {Hillmann, W.}
}

@Report { HK1992_2,
   title = {Zur Beherrschung der Abweichungen von der Referenztemperatur in der Fertigungsme{\ss}technik - Vortr{\"a}ge des 98. PTB-Seminars},
   year = {1992},
   number = {PTB-F-9},
   pages = {70 , 26 Abbildungen, 1 Tabelle},
   abstract = {In Bereichen der Fertigungstechnik, wie Maschinenbau, gilt die Referenztemperatur 20\(^{\circ}\)C, in weiten Bereichen der Elektrotechnik/Elektronik jedoch 23\(^{\circ}\)C. Beide Gebiete sind im Zuge der technischen Entwicklung zunehmend miteinander verkn{\"u}pft. Daraus folgt in den betroffenen Unternehmen der Wunsch zu dimensionellen Gr{\"o}{\ss}en Kalibrierungen durch die PTB zu bekommen.},
   keywords = {PTB-F-},
   misc = {DM 26,00},
   ISBN = {ISBN 3-89429-197-4},
   author = {Kunzmann, H. and K. (Hrsg.), Hasche}
}

@Report { HM1992,
   title = {Vergleichswerte H{\"a}rte/Zugfestigkeit und H{\"a}rtevergleichstabellen f{\"u}r Verg{\"u}tungsst{\"a}hle},
   year = {1992},
   number = {PTB-F-10},
   pages = {98 , 78 Abbildungen, 6 Tabellen},
   abstract = {Die H{\"a}rtemessung ist ein Verfahren der Werkstoffpr{\"u}fung, das es erm{\"o}glicht, zerst{\"o}rungsarm und in relativ kurzer Zeit Aufschlu{\ss} {\"u}ber eine mechanische Eigenschaft eines Werkstoffes zu gewinnen. Die Unsicherheiten und Vergleichswerte bei ihrer Anwendung in der Praxis wurden berechnet und in Form von Diagrammen dargestellt.},
   keywords = {PTB-F-},
   misc = {DM 32,50},
   ISBN = {ISBN 3-89429-151-6},
   author = {Eckardt, H. and Otto, M.}
}

@Report { FRE1992,
   title = {Coordinate Metrology},
   year = {1992},
   number = {PTB-F-11},
   pages = {90 , 59 Abbildungen, 3 Tabellen},
   abstract = {{\"U}berblick {\"u}ber den Stand der Koordinatenme{\ss}technik. Integration in die Qualit{\"a}tssicherung am Beispiel eines gro{\ss}en Automobilherstellers.},
   keywords = {PTB-F-},
   misc = {DM 30,00},
   ISBN = {ISBN 3-89429-158-3},
   author = {W{\"a}ldele, F. and Hegelmann, R. and Trapet, E.}
}

@Report { Ch1992,
   title = {Entwicklung und Erprobung einer Pr{\"a}zisionsgeradf{\"u}hrung und eines Pr{\"a}zisionsantriebes f{\"u}r Laserspiegel eines Me{\ss}-lasers zur laserfrequenzgest{\"u}tzen L{\"a}ngenmessung},
   year = {1992},
   number = {PTB-F-14},
   pages = {96},
   abstract = {Mit der Entwicklung und Erprobung einer Pr{\"a}zisionsgeradf{\"u}h-rung eines Pr{\"a}zisionsantriebes f{\"u}r Laserspiegel, den durchgef{\"u}hrten Untersuchungen sowie der Dimensionierung des gesamten Me{\ss}lasers wurde ein neues Prinzip der laserfrequenzgest{\"u}tzten L{\"a}ngenmessung im Bereich von 0 bis 20 mm mit Nanometeraufl{\"o}sung realisiert.},
   keywords = {PTB-F-},
   misc = {DM 32,00},
   ISBN = {ISBN 3-89429-223-7},
   author = {Jarzombeck, Ch.}
}

@Report { HK1992,
   title = {Calibration and Testing of Laser Interferometers},
   year = {1992},
   number = {PTB-F-15},
   pages = {108 , 50 Abbildungen},
   abstract = {Ein EUROMET-Workshop {\"u}ber die Kalibrierung und Pr{\"u}fung von Laserinterferometern (LI) in Berlin, an dem Vertreter vom metrologischen Instituten und Herstellern von LI aus 10 L{\"a}ndernteilnahmen. Erfahrungsaustausch zu folgenden Problemen: Herstellung der R{\"u}ckf{\"u}hrbarkeit mittels LI., Kalibrierung von LI-Systemen und/oder Komponenten von LI., Pr{\"u}fung und Abnahme von LI.},
   keywords = {PTB-F-},
   misc = {DM 33,50},
   ISBN = {ISBN 3-89429-236-9},
   author = {Kunzmann, H. and K. (Hrsg.), Herrmann}
}

@Report { W1989_2,
   title = {Bericht {\"u}ber einen Vergleich von Rauheitsmessungen},
   year = {1989},
   number = {PTB-F-6},
   pages = {78 , 39 Abbildungen, 2 Tabellen},
   abstract = {Es wurden Messungen unter eindeutig definierten Me{\ss}bedin-gungen nach DIN 4768 in 15 Laboratorien in 9 L{\"a}ndern der EG durchgef{\"u}hrt. Me{\ss}objekte waren ein Tiefen-Einstellnormal, drei PTB-Rauhnormale mit unregelm{\"a}{\ss}ig geschliffenen Profilen und vier Etalons de Rugosita0e L.C.A. mit gedrehten Profilen.},
   keywords = {PTB-F-},
   misc = {DM 26,00},
   ISBN = {ISBN 3-88314-924-1},
   author = {Hillmann, W.}
}

@Report { D1989,
   title = {Analyse des Schwingungsverhaltens gleicharmiger Balkenwaagen durch rechnergest{\"u}tzte Identifikation, Simulation und Parametersch{\"a}tzverfahren},
   year = {1989},
   number = {PTB-F-7},
   pages = {128 , 37 Abbildungen, 7 Tabellen},
   abstract = {Es wird ein zweistufiges Sch{\"a}tzverfahren (autoregressiver und exogener Modellansatz) vorgestellt und erprobt, das je W{\"a}gung sowohl die Me{\ss}gr{\"o}{\ss}e einschlie{\ss}lich ihrer Standardabweichung als auch die Systemparameter Periodendauer und wDrift liefert. Mit dem simulierten Ersatzsystem erzeugte Testreihen dienen zur Erprobung der Auswerte- und Sch{\"a}tzverfahren.},
   keywords = {PTB-F-},
   misc = {DM 33,50},
   ISBN = {ISBN 3-88314-950-0},
   author = {Beuke, D.}
}

@Report { D1988,
   title = {Frequency Stabilization of He-Ne Lasers by Intensity Comparison of two Longitudinal Modes},
   year = {1988},
   number = {PTB-F-3},
   pages = {78 , 18 Abbildungen, 2 Tabellen},
   abstract = {Dieser Bericht fa{\ss}t die Untersuchungen von He-Ne-Zweifre-quenzlasern zusammen, die im Laboratorium f{\"u}r Ma{\ss}teilungen der PTB ausgef{\"u}hrt wurden und deren Ergebnisse seit 1972 ver{\"o}ffentlicht worden sind. Behandelt werden Methoden der Frequenzstabilisierung dieses Lasertyps, die sich in der Praxis bew{\"a}hrt haben. Ergebnisse der erreichten Frequenzstabilit{\"a}t werden angegeben.},
   keywords = {PTB-F-},
   misc = {DM 26,00},
   ISBN = {ISBN 3-88314-801-6},
   author = {Ullrich, D.}
}

@Report { GXinPG1988,
   title = {Winkelme{\ss}ger{\"a}t mit integrierender Phasenmessung},
   year = {1988},
   number = {PTB-F-4},
   pages = {46 , 17 Abbildungen, 1 Tabelle},
   abstract = {Zur Untersuchung der Leistungsf{\"a}higkeit einer Winkelme{\ss}-methode mit integrierender Phasenmessung wurde ein Expe-rimentieraufbau mit kommerziellen modularen Winkelme{\ss}sys-temen unter Verwendung eines Mikroprozessors aufgebaut. Bei der angewandten Methode wird jede Winkelstellung unter Bezug auf den Vollkreis gemessen.},
   keywords = {PTB-F-},
   misc = {DM 19,00},
   ISBN = {ISBN 3-88314-805-9},
   author = {G. Xin, Xia and Dickers, P.J. and Wilkening, G.}
}

@Report { R1988,
   title = {Untersuchung von optoelektronischen Winkelme{\ss}systemen und deren Einsatz in einer beugungsoptischen Dehnungsmessung und in einem photoelektronischen 2-Koordinaten-AFK},
   year = {1988},
   number = {PTB-F-5},
   pages = {128},
   abstract = {F{\"u}r die Messung der Richtungs{\"a}nderung eines Lichtstrahls von ca. 2 uW Leistung wurden piezoelektrisch und elektrodynamisch angetriebene optoelektronische Nachf{\"u}hrsysteme entwickelt und untersucht.},
   keywords = {PTB-F-},
   misc = {DM 33,50},
   ISBN = {ISBN 3-88314-867-9},
   author = {Kr{\"u}ger, R.}
}

@Report { WWKWR1987,
   title = {Untersuchungen an Zahnflanken mit Rasterelektronenmik-roskop (REM) und Tastschnittger{\"a}t},
   year = {1987},
   number = {PTB-F-2},
   pages = {52 , 14 Abbildungen},
   abstract = {Es wurden Oberfl{\"a}chen von Zahnflanken untersucht, die sich durch das Herstellungsverfahren unterscheiden. Ihre Oberfl{\"a}-chentextur wurde mit dem bekannten Tastschnittverfahren sowie durch Auswerten rasterelektronenmikroskopischer Stereoaufnahmen quantitativ bestimmt. Aus dem Vergleich der Me{\ss}ergebnisse lassen sich Bedingungen ableiten, unter denen die entsprechenden Me{\ss}verfahren f{\"u}r Rauhheitsmessungen an technischen Oberfl{\"a}chen anzuwenden sind.},
   keywords = {PTB-F-},
   misc = {DM 19,00},
   ISBN = {ISBN 3-88314-692-7},
   author = {Beyer, W.W. and Eckolt, K. and Hillmann, W. and Wittekopf, R.}
}

@Report { U1986,
   title = {Ein Programmpaket f{\"u}r IBM-kompatible PC´s zur Bedienung der externen Commodore-Diskettenlaufwerke 8250, 8050, 4040 und 2031},
   year = {1986},
   number = {PTB-F-1},
   pages = {26},
   abstract = {Das Programmpaket PCBM-DOS besteht aus acht Haupt- und f{\"u}nf Unterprogrammen, mit denen eine Commodore-Diskettenspeichereinheit des Typs 8250, 8050, 4040 oder 2031 als zus{\"a}tzliches Speicherger{\"a}t an einem IBM-kompatiblen Personalcomputer (PC) betrieben werden kann. Hier werden die n{\"o}tigen Informationen f{\"u}r eine Anwendung der Software vermittelt und Angaben {\"u}ber die mit den Programmen l{\"o}sbaren Aufgaben und die f{\"u}r die Anwendung notwendigen Bedienungshinweise und Datenspezifikationen gegeben.},
   keywords = {PTB-F-},
   misc = {DM 14,00},
   ISBN = {ISBN 3-88314-593-9},
   author = {Hammerschmidt, U.}
}