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Großgeräte

Vorhandene Fertigungsverfahren werden hinsichtlich erzielbarer Formgenauigkeit und Oberflächenrauheit bei unterschiedlichen Werkstoffen und kleiner werdenden Bauteilabmessungen optimiert, völlig neuartige Verfahren entwickelt.

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Für die Fabrikation von Quantenschaltungen stehen die erforderliche Dünnschichttechnologie sowie lithographischen Einrichtungen zur Herstellung hochintegrierter metallischer Schaltungen auf der Basis von Supraleitern und Normalleitern mit Strukturbreiten bis herab zu 10 nm zur Verfügung.

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