Logo PTB

Hochpräzise Linearführung zur Messung des Gitterparameters von Silizium

08.01.2015

Die Messung des Gitterparameters von Silizium mit Röntgeninterferometern verlangt die extrem präzise Relativbewegung von zwei Teilen eines Interferometerkristalls mit Winkelfehlern bis zu 0,001 arcsec im Vakuum ruckfrei über einige Millimeter. Als Teil der Kombination einer hochpräzisen Linearführung mit einer geregelten Winkelfeinverstellung wurde ein kinematisch beschränkter Translationsmechanismus mit Kreuzgelenkfedern entwickelt und ein Prototyp hergestellt. Diese Neuentwicklung soll zur Gitterparametermessung von Silizium benutzt werden und erschließt auch für andere Anwendungen im Vakuum den Führungsfehlerbereich unterhalb der Kugel- und Rollenlager mit einer Qualität, die Luftlagern vergleichbar sein wird. 

Die Messung des Gitterparameters von Silizium mit Röntgeninterferometern verlangt die extrem präzise Relativbewegung von zwei Teilen eines Interferometerkristalls mit Winkelfehlern bis zu 0,001 arcsec im Vakuum ruckfrei über einige Millimeter. Als Teil der Kombination einer hochpräzisen Linearführung mit einer geregelten Winkelfeinverstellung wurde ein kinematisch beschränkter Translationsmechanismus mit Kreuzgelenkfedern entwickelt und ein Prototyp hergestellt. Diese Neuentwicklung soll zur Gitterparametermessung von Silizium benutzt werden und erschließt auch für andere Anwendungen im Vakuum den Führungsfehlerbereich unterhalb der Kugel- und Rollenlager mit einer Qualität, die Luftlagern vergleichbar sein wird.