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Weiterentwicklung der Strahlcharakterisierung für interferentielle Längenmessungen

11.01.2019

Bei der Messung von Längen mit Laserinterferometern muss der durch Beugung verursachte längenproportionale Fehler berücksichtigt werden. Mit Hilfe einer Linse und eines Bildsensors kann man aus der 2D-Intensitätsverteilung in der Brennebene auf die Divergenz und damit den längenproportionalen Fehler schließen. Durch azimutale Mittelung kann die bisher verwendete 2D-Verteilung in eine 1D-Verteilung unter Verbesserung des Signal-zu-Rausch-Verhältnisses umgewandelt werden, wobei bisher verborgene Anteile der Intensitätsverteilung zutage treten, welche einen signifikanten, sonst unberücksichtigten Beitrag zum längenproportionalen Fehler liefern. (B. Andreas, FB 4.2, birk.andreas(at)ptb.de)