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Bestimmung der vollständigen Kontur und der Konturunsicherheit von Gitter-Nanostrukturen

11.01.2019

Mit Hilfe von winkelaufgelösten UV-Streulichtmessungen (goniometrische Scatterometrie) können Gitterstrukturen mit Größen bis hinunter zu wenigen 10 Nanometern sehr genau gemessen werden. Im Gegensatz zu aktuellen kommerziell eingesetzten Auswerteverfahren, die sich auf eine Bestimmung einzelner spezifizierter Strukturparameter wie Breite und Höhe beschränken, wurde im Fachbereich 4.2 nun eine neuartige Geometrie-Parametrisierung entwickelt und eingesetzt, die es erlaubt, die vollständige Strukturkontur inklusive ihrer statistischen Unsicherheit verlässlich und physikalisch sinnvoll zu charakterisieren. Ein essentieller Meilenstein auf dem Weg zu rückgeführten referenzfreien optischen Strukturbreitenmessungen ist damit erreicht. (M. Wurm, FB 4.2, matthias.wurm(at)ptb.de)