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Neuer Rekonstruktionsalgorithmus zur genaueren Bestimmung der 3D-Topographie bei scannenden optischen Formmesssystemen

11.01.2019

Bei scannenden Messsystemen führt unbeabsichtigtes Driften des Prüflings während der Messung zu Fehlern: Bei mehrmaligen Anfahren der vermeintlich gleichen Messstelle erhält man unterschiedliche Messwerte. In Zusammenarbeit der beiden Fachbereiche 4.2 und 8.4 wurde ein neuartiger Optimierungsalgorithmus entwickelt, der die Ergebnisse aus verschiedenen, sich kreuzenden Messtrecken bestmöglich zusammenfügt und eine genauere Rekonstruktion der 3D-Topografie ermöglicht. Der Algorithmus wurde an unterschiedlichen Messsystemen erfolgreich angewendet (G. Ehret, FB 4.2, C. Elster, FB 8.4, gerd.ehret(at)ptb.de)