Herstellung und Optimierung von Kalibrierflächen für Asphärenmessgeräte

Zur Charakterisierung von Asphären- und Freiformflächenmessgeräten wurden spezielle Kalibrierflächen entwickelt, die aus Kugelsektoren mit zwei oder mehr verschiedenen Radien bestehen. Vorteil einer solchen Oberfläche ist, dass die Radien und die Sphärizität der Kugelsektoren mit dem Radiusmessplatz bzw. dem Sphärizitätsmessplatz der PTB rückgeführt gemessen werden können. Die Flächen wurden vom Wissenschaftlichen Gerätebau der PTB hergestellt. Die Oberflächenform wurde mit dem Tilted-Wave Interferometer (TWI) der PTB gemessen. Durch Optimierung und engen Austausch zwischen Fertigung und Messung ist es gelungen, die Flächen sehr genau zu fertigen. So zeigen die Messungen mit dem TWI nur sehr geringe Abweichungen zur Solltopografie. (Ines Fortmeier, FB 4.2, ines.fortmeier@ptb.de)