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Ein neues Auswerteverfahren für die Mueller-Ellipsometrie
Categories:
- Fundamentals of Metrology
16.11.2018
In der PTB wurde ein neues mathematisches Verfahren entwickelt, mit dem Messdaten eines Mueller-Ellipsometers ausgewertet werden. Anders als bislang üblich wird nun die Depolarisation des Lichtes, die durch den Prüfling verursacht wird, benutzt, um ein Maß für die Unsicherheit des nicht-depolarisierten Anteils abzuleiten. Bei den spektralen Messungen mit einem Mueller-Ellipsometer führt dies zu einer neuartigen Gewichtung der einzelnen Wellenlängenbeiträge zum Gesamtergebnis. Das Verfahren wird beispielsweise angewendet, um Geometrieparameter von Subwellenlängenstrukturen zu bestimmen.
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