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Reinraumzentrum

12.10.2011

Für die Fabrikation von Quantenschaltungen stehen die erforderliche Dünnschichttechnologie sowie lithographischen Einrichtungen zur Herstellung hochintegrierter metallischer Schaltungen auf der Basis von Supraleitern und Normalleitern mit Strukturbreiten bis herab zu 10 nm zur Verfügung.

Im Reinraumzentrum der PTB (Reinraumklasse 100) sind Prozessanlagen und Analyseeinrichtungen zur Fertigung von integrierten Schaltungen vorhanden. Die Schaltungen werden in nationaler und internationaler Zusammenarbeit für metrologische Grundlagenforschung und die Einrichtung elektrischer Quantennormale benötigt.

Die Einrichtungen umfassen:

• Lithographie und Strukturierungsanlagen zur Herstellung hochintegrierter metallischer und halbleitender Schaltungen mit Strukturbreiten bis herab zu 10 Nanometern inklusive hochauflösender Mikroskopieverfahren zu Analysezwecken

• Beschichtungsanlagen für metallische und isolierende Materialien und Molekularstrahlepitaxie zur Herstellung niedrigdimensionaler Halbleitersysteme
Das Reinraumzentrum verfügt über verschiedene technische Anlagen in den Bereichen Opens window for sending emailQuantenelektronik und Opens window for sending emailHalbleiterphysik und Magnetismus.

Ansprechpartner:
PD Dr. Uwe Siegner
Tel.: +49 531 592 2010
E-Mail: uwe.siegner(at)ptb.de