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Neue Bewertung und Interpretation von Messdaten in der multidimensionalen Reflektometrie

12.01.2015

Im Rahmen eines EMRP-Projektes zur Charakterisierung visueller optischer Eigenschaften von Oberflächen wurde eine neuartige Metrik zur Bewertung und Interpretation multidimensionaler Messdaten in der Reflektometrie entwickelt. Die Metrik erlaubt, Ähnlichkeiten und Unterschiede der optischen Eigenschaften von Oberflächen in einer Art zu quantifizieren, die der menschlichen Wahrnehmung entspricht. Damit kann die visuell durchgeführte Beurteilung optischer Eigenschaften von Oberflächen auf ein messbares, objektives Kriterium zurückgeführt werden.