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Neues Verfahren zur Lösung von rechenintensiven inversen Problemen

09.01.2015

Die Lösung statistischer inverser Probleme mit Hilfe von Sampling Methoden erfordert eine vielfache Berechnung des Vorwärtsmodells. Rechenintensive Anwendungen wie die Scatterometrie können daher nicht ohne Approximationen behandelt werden. An der PTB ist es gelungen ein Verfahren zu entwickeln, das es ermöglicht, die Bayes’sche Methode auf das inverse Problem in der Scatterometrie anzuwenden. Dieses Verfahren ist im Prinzip auch auf andere Systeme anwendbar.