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Realistische Modellierung von Kantenrauheit mittels Fourier-Optik

09.01.2015

Durch die fortschreitende Miniaturisierung in der Halbleitertechnik gewinnen die realistische Beschreibung und die zerstörungsfreie Messung von Rauheit zunehmend an Bedeutung. Innerhalb des EMRP-Projekts IND17 wurde ein neuer und effizienter Algorithmus zur Berechnung der Auswirkung rauher Kanten auf die scatterometrisch gemessenen Lichtintensitäten entwickelt. Kernstück ist die 2D-Fouriertransformation der Lichtverteilung in einer Aperturebene, in der die Linienkanten rauh sind. Er erlaubt die Simulation verschiedener realistischer Rauheitsmuster und bestätigt, dass die mittlere Rauheitsamplitude dieser Muster aus Scatterometriedaten gut bestimmt werden kann. Ein erster Vergleich mit 3D-AFM-Messungen liefert zufriedenstellende Ergebnisse.