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Effiziente Modellierung der Rauheit von periodischen Linienstrukturen

12.12.2013

Der Einfluss von Rauheiten an den Kanten der periodischen Oberflächenprofile von Fotomasken muss bei der Auswertung der gemessenen Lichtstreuung berücksichtigt werden. Frühere, mit aufwändigen Finite-Elemente-Rechnungen gewonnene Ergebnisse wurden mit Hilfe eines einfachen, sehr effizienten Rechenschemas, das auf einer 2D-Fourier Transformation beruht, bestätigt.

Ansprechpartner: Opens window for sending emailH. Groß, FB 8.4; Opens window for sending emailS. Heidenreich, FB 8.4

 


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