12.12.2013
Der Einfluss von Rauheiten an den Kanten der periodischen Oberflächenprofile von Fotomasken muss bei der Auswertung der gemessenen Lichtstreuung berücksichtigt werden. Frühere, mit aufwändigen Finite-Elemente-Rechnungen gewonnene Ergebnisse wurden mit Hilfe eines einfachen, sehr effizienten Rechenschemas, das auf einer 2D-Fourier Transformation beruht, bestätigt.
Ansprechpartner: H. Groß, FB 8.4; S. Heidenreich, FB 8.4
[Translate to English:] « Zurück