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EUV-Instrumentierung

Working Group 7.16

Profile

Die Arbeitsgruppe entwickelt die umfangreiche Instrumentierung für die EUV Radiometrie technisch weiter, um für die Vielfalt der Messaufgaben angepasste und effiziente Werkzeuge zu schaffen und sie gleichzeitig durch Vereinheitlichung wesentlicher Komponenten leichter bedienbar und ausfallsicherer zu machen.

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Services

  • Planung, Aufbau und Inbetriebnahme von Messeinrichtungen für die EUV-Radiometrie
  • Weiterentwicklung und technologische Upgrades für vorhandene Instrumentierung
  • Entwicklung von technischen Lösungen für neue, effiziente Messabläufe

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