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Production sequence of Si-spheres and interferometrical determination of the sphere volume

Technology-transfer of process chain into the industry

16.12.2019

Im Rahmen des sog. Avogadro-Projektes wurde seit ca. 2009 in der PTB eine aufwändige Fertigungskette entwickelt, mit der Kugeln hergestellt werden können, die Formfehler unter 20 nm, Mittenrauwerte unter 0,3 nm, schädigungsfreie Oberflächen und keinerlei Kontaminationen sowie eine sehr gleichmäßige Oxidschicht aufweisen. Für das Projekt wurden überwiegend Kugeln aus angereichertem Si28 hergestellt. Es zeigte sich im Umgang mit den Messobjekten, dass Siliziumkugeln mehrere positive Gebrauchseigenschaften besitzen, die sie auch als Massenormale attraktiv machen. Im Rahmen des TransMeT Projektes Si-kg wurde daher eine Kooperation mit deutschen Unternehmen initiiert, die den Transfer der Herstellungsmethode, die Handhabung sowie die Reinigung der Kugeln zum Inhalt hatte.

Der Transfer des in der PTB entwickelten Verfahrens wurde mit dem diesjährigen Technologietransferpreis der IHK Braunschweig prämiert. Am 8. November wurde dieser Preis zum 35. Mal verliehen. Die PTB teilt sich diese renommierte Auszeichnung mit der Formhand Automation GmbH, einem spin-off der Technischen Universität Braunschweig. Der Technologietransferpreis prämiert Ideen, die nachweislich den Weg von der Forschung in die Industrie gefunden haben. Dies ist dem Fachbereich 5.5 mit der entwickelten Fertigungskette zur Herstellung von Siliziumkugeln im Rahmen des TransMeT Projektes Si-kg gelungen.



Abb. 1: Bestückung einer Maschine zur Kugelfertigung

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