Ausstattung zur Probenpräparation
Leica EM ACE600 Hochvakuum-Beschichtungssystem
- zwei Sputterköpfe (zwei unterschiedliche Materialien können nacheinander im Vakuum aufgebracht werden),
- motorisierter Probentisch mit Planetengtriebe
- Glimmentladungssystem
- Schwingquartz-Dickenmesssystem
- Probegröße: bis 4 Zoll-Wafer
Balzers Kleinbeschichtungsanlage MED 010
- für Kohlefadenbedampfung eingerichtet
Ionenätzgerät Hitachi IM4000Plus mit aktiver Probenkühlung
- zur Erzeugung mechanisch ungestörter Querschnitte und zur Politur mechanisch vorpolierter Probenoberflächen zwecks anschließender Beobachtung und Analyse im REM
- Probenbehandlung erfolgt durch einen Argon-Ionenstrahl, der stufenlos zwischen 0 und 6kV beschleunigt werden kann
- Ätzrate bei Querschnittpräparation: ca. 500µm/h (Si)
- Probenkühlung mit LN2 (wenn erforderlich) bis -100°C
Metallographische Grundausstattung
- Trennschleifmaschine Stuers Secotom-10
- Schleif- und Poliermaschinen
- Ausrüstung für manuelles Schleifen