Apparative Ausstattung
Thermo Fisher Verios G4
Elektronenquelle: Schottky Emitter
- Beschleunigungsspannung: 350 V – 30 kV
- Strahlstrom: 0,8 pA – 100 nA
- Landungsenergien: 20 eV – 30 keV
Detektoren: Bis zu vier Detektoren können gleichzeitig genutzt werden.
- Everhart-Thornley-Detektor
- Through-the-lens-Detector
- Detektor für rückgestreute Elektronen (BSE, 4 Quadranten, Point Electronic)
- EDX Detektor für energiedispersive Röntgenspektroskopie
- Transmissions-Detektor
- Innerer Bereich für Hellfeld-Aufnahmen (BF)
- Mittlerer Bereich: 4 ringförmige Flächen für Dunkelfeld-Aufnahmen (ADF)
- Äußerer Bereich: 6 Ringsegmente für HAADF-Aufnahmen (high angle angular dark field)
Auflösung: Bis zu 0,6 nm (im Transmissionsmodus bei 30kV)
Standort: Reinraumzentrum der PTB
Zeiss Supra 35 VP
Elektronenquelle: Schottky Feld-Emitter
- Beschleunigungsspannung: 100 V – 30 kV
- Strahlstrom: 4 pA – 10 nA
Detektoren:
- Everhart-Thornley-Detektor
- Inlens-Detector
- Variable Pressure-Detektor
- Detektor für rückgestreute Elektronen (BSE)
- Transmissions-Detektor
- Innerer quadratisches Halbleiterelement für Hellfeld-Aufnahmen (Bright-Field)
- Äußerer Bereich: 4 quadratische Halbleiterelemente (Dark-Field)
Auflösung: Bis zu 0,8 nm (im Transmissionsmodus bei 30kV)
Standort: Reimraumkabine im Einstein-Bau
Hitachi TM4000Plus
Desktop-REM
Elektronenquelle: Wolfram Filament
- Beschleunigungsspannung: 5 kV, 10 kV oder 15 kV
Detektoren: Detektoren arbeiten zwischen 0,05 mbar und 0,5 mbar
- Detektor für rückgestreute Elektronen mit 4 Quadranten
- Detektor für Sekundärelektronen
Auflösung: Bis zu 20 nm
Standort: Abbe-Bau
JEOL NeoARM 200F (in Kooperation mit TU BS)
Elektronenquelle: Kalte Feldemissions-Kathode
- Beschleunigungsspannung: 80 kV, 200 kV
- Korrektoren für TEM- und STEM-Modus
Detektoren:
- HAADF (high angle angular dark field)
- Gatan Kamera
- EDX-Detektor für energiedispersive Röntgenspektroskopie
- EELS-Detektor für Elektronenenergieverlustspektroskopie
Auflösung: Bis zu 67 pm