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Production sequence of Si-spheres and interferometrical determination of the sphere volume

Elektronenmikroskopie

Arbeitsgruppe 5.24

Apparative Ausstattung

Thermo Fisher Verios G4
Thermo Fisher Verios G4

Thermo Fisher Verios G4

Elektronenquelle: Schottky Emitter

  • Beschleunigungsspannung: 350 V – 30 kV
  • Strahlstrom: 0,8 pA – 100 nA
  • Landungsenergien: 20 eV – 30 keV

Detektoren: Bis zu vier Detektoren können gleichzeitig genutzt werden.

  • Everhart-Thornley-Detektor
  • Through-the-lens-Detector
  • Detektor für rückgestreute Elektronen (BSE, 4 Quadranten, Point Electronic)
  • EDX Detektor für energiedispersive Röntgenspektroskopie
  • Transmissions-Detektor

    • Innerer Bereich für Hellfeld-Aufnahmen (BF)
    • Mittlerer Bereich: 4 ringförmige Flächen für Dunkelfeld-Aufnahmen (ADF)
    • Äußerer Bereich: 6 Ringsegmente für HAADF-Aufnahmen (high angle angular dark field)


Auflösung: Bis zu 0,6 nm (im Transmissionsmodus bei 30kV)

Standort: Reinraumzentrum der PTB

Zeiss Supra 35 VP
Zeiss Supra 35 VP

Zeiss Supra 35 VP

Elektronenquelle: Schottky Feld-Emitter

  • Beschleunigungsspannung: 100 V – 30 kV
  • Strahlstrom: 4 pA – 10 nA

Detektoren:

  • Everhart-Thornley-Detektor
  • Inlens-Detector
  • Variable Pressure-Detektor
  • Detektor für rückgestreute Elektronen (BSE)
  • Transmissions-Detektor

    • Innerer quadratisches Halbleiterelement für Hellfeld-Aufnahmen (Bright-Field)
    • Äußerer Bereich: 4 quadratische Halbleiterelemente (Dark-Field)

Auflösung: Bis zu 0,8 nm (im Transmissionsmodus bei 30kV)

Standort: Reimraumkabine im Einstein-Bau

Desktop-REM Hitachi TM4000Plus
Desktop-REM Hitachi TM4000Plus

Hitachi TM4000Plus

Desktop-REM

Elektronenquelle: Wolfram Filament

  • Beschleunigungsspannung: 5 kV, 10 kV oder 15 kV

Detektoren: Detektoren arbeiten zwischen 0,05 mbar und 0,5 mbar

  • Detektor für rückgestreute Elektronen mit 4 Quadranten
  • Detektor für Sekundärelektronen

Auflösung: Bis zu 20 nm

Standort: Abbe-Bau

JEOL NeoARM 200F (in Kooperation mit Opens external link in new windowTU BS)

Elektronenquelle: Kalte Feldemissions-Kathode

  • Beschleunigungsspannung: 80 kV, 200 kV
  • Korrektoren für TEM- und STEM-Modus

Detektoren:

  • HAADF (high angle angular dark field)
  • Gatan Kamera
  • EDX-Detektor für energiedispersive Röntgenspektroskopie
  • EELS-Detektor für Elektronenenergieverlustspektroskopie

Auflösung: Bis zu 67 pm

JEOL NeoARM 200F (Quelle: JEOL)
JEOL NeoARM 200F (Quelle: JEOL)