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Production sequence of Si-spheres and interferometrical determination of the sphere volume

Displacement Interferometry

Working Group 5.22

Contact persons

Contact

Head of Working Group

Dr. Jens Flügge

Phone: (0531) 592-5200

Email: jens.fluegge(at)ptb.de

Rasterelektronenmikroskopie, Monte-Carlo Simulationen

Dr. Sebastian Bütefisch

Phone: +49 531 592-5119

Email: sebastian.buetefisch(at)ptb.de

Masken-Kalibrierungen, Sondermessaufgaben, Verfahrens- und Geräteentwicklung

Dipl.-Phys. Wolfgang Häßler-Grohne

Phone: (0531) 592-5112

Email: wolfgang.haessler-grohne(at)ptb.de

SW-Entwicklung, Geräteentwicklung und -optimierung

Dipl.-Ing.(FH) Kai Hahm

Phone: (0531) 592-5189

Email: kai.hahm(at)ptb.de

Masken-Kalibrierungen, Finite-Elemente Berechnung der Maskendurchbiegungen, Gerätekonstruktion

Dipl.-Ing.(FH) Bernd Przebierala

Phone: (0531) 592-5114

Email: bernd.przebierala(at)ptb.de

Konstruktion, Fertigung und Erprobung von mechanischen Baugruppen

Karsten Fromm

Phone: (0531) 592-5106

Email: karsten.fromm(at)ptb.de

Entwicklung 300 mm AFM

Dr. Dorothee Hüser-Espig

Phone: (0531) 592-5180

Email: Dorothee.Hueser-Espig(at)ptb.de

Rasterelektronenmikroskopie

Dr. Sebastian Bütefisch

Phone: +49 531 592-5119

Email: sebastian.buetefisch(at)ptb.de

 

Anmerkung:

Weitere Mitarbeiter sind anteilig für die Arbeitsgruppe 5.22 tätig, so z.B. für die Elektronikpräparation.