11.01.2019
Bei der Messung von Längen mit Laserinterferometern muss der durch Beugung verursachte längenproportionale Fehler berücksichtigt werden. Mit Hilfe einer Linse und eines Bildsensors kann man aus der 2D-Intensitätsverteilung in der Brennebene auf die Divergenz und damit den längenproportionalen Fehler schließen. Durch azimutale Mittelung kann die bisher verwendete 2D-Verteilung in eine 1D-Verteilung unter Verbesserung des Signal-zu-Rausch-Verhältnisses umgewandelt werden, wobei bisher verborgene Anteile der Intensitätsverteilung zutage treten, welche einen signifikanten, sonst unberücksichtigten Beitrag zum längenproportionalen Fehler liefern. (B. Andreas, FB 4.2, birk.andreas(at)ptb.de)