Abschluss eines internationalen Ebenheits-Messvergleichs an einer optischen Planfläche

Im Rahmen von EURAMET wurde von 14 europäischen Metrologieinstituten ein wis-senschaftlicher Vergleich von Ebenheitsmessgeräten durchgeführt. Als Prüfling diente eine optische Planfläche, deren Oberflächenform auf einer Kreisfläche mit einem Durchmesser von maximal 150 mm gemessen wurde. Aus den Messergebnissen wurde die mittlere Oberflächenform bestimmt, wobei die unterschiedlichen lateralen Auflösungen der Instrumente und die unterschiedlichen Orientierungen des Prüflings während der Messung berücksichtigt wurden. Es zeigte sich, dass alle Messungen innerhalb der von den Teilnehmern angegeben Unsicherheitsintervalle mit der mittle-ren Form übereinstimmen. Dieser Vergleich soll als Basis für einen künftigen Schlüs-selvergleich des Internationalen Komitees für Maß und Gewicht dienen.