08.01.2015
Vom 18.-19. September 2014 fand in Berlin Adlershof der von der PTB organisierte 2. International Workshop Scatterometry and Ellipsometry on Structured Surfaces, als Teil des Annual Meeting of the European Optical Society EOSAM2014 statt. Schwerpunktthemen waren Entwicklungen scatterometrischer Verfahren für aktuelle und künftige Anforderungen in der Halbleiterindustrie. Insbesondere wurden Ergebnisse des EMRP-Projektes JRP IND17 'Scatterometry' vorgestellt.