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Spectroscopic ellipsometry and Mueller matrix ellipsometry

References
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T. Käseberg, J. Grundmann, J. Dickmann, S. Kroker, B. Bodermann
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M. Wurm, T. Grunewald, S. Teichert, B. Bodermann, J. Reck, U. Richter
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T. Grunewald, M. Wurm, S. Teichert, B. Bodermann, J. Reck, U. Richter
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T. Käseberg, T. Siefke, M. Wurm, S. Kroker, B. Bodermann
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T. Käseberg, J. Dickmann, T. Siefke, S. Kroker, M. Wurm, B. Bodermann
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T. Grunewald, M. Wurm, S. Teichert, B. Bodermann, J. Reck, U. Richter
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T. Grunewald, M. Wurm, B. Bodermann, J. Reck, U. Richter
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P. Petrik, B. Fodor, E. Agocs, P. Kozma, J. Nador, N. Kumar, J. Endres, G. Juhasz, C. Major, S. Pereira, T. Lohner, H. Urbach, B. Bodermann, M. Fried
SPIE Conference Optical Metrology: Modeling Aspects in Optical Metrology V, Munich, Germany, 22-25, June, 2015
Modeling Aspects in Optical Metrology V; Proceedings of SPIE Volume 9526 (2015) , page 95260S-1 - 95260S-11

(invited)