PTB-Reports Fertigungsmesstechnik (F)
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Report
| Title: |
Entwicklung eines kombinierten Nahfeldmikroskopie- und -spektroskopiesystems : Bericht über das BMBF-Vorhaben 13N7643/6 |
| Author(s): |
C. Dal Savio, T. Dziomba, D. Kazantsev and H.-U. Danzebrink |
| Editor: |
Physikalisch-Technische Bundesanstalt |
| Report type: |
PTB-Report |
| Year: |
2003 |
| Document number: |
PTB-F-47 |
| Pages: |
100 , 66 tw. farbige Abb. |
| Custom: |
17,00 EUR |
| ISBN: |
ISBN 3-86509-064-8 |
| ISSN: |
ISSN 0179-0609 |
| Abstract: |
Im Zentrum dieses Projekts steht das innovative Konzept eines kompakten Sensor-Objektivs, das gleichzeitig als konventionelles Mikrospobjektiv und als SFM- und nachfeld-optischer Mikroskopkopf verwendet werden kann. Dieses Sensor-Objektiv basiert auf einem Spielobjektiv, welches direkt in den Revolver eines optischen Standardmikroskops eingeschraubt werden kann. Zusätzlich enthält es eine kompakte Rasterkraftmikroskop-(SFM)- Sensoreinheit. Das damit realisierbare Prinzip eines austauschbaren Messkopfes ist die Grundlage aller Entwicklungen in diesem Vorhaben. Das gilt sowohl für den Raum- als auch für den Tieftempearturaufbau. In allen Messsystemen lassen sich wahlweise Standardobjektive und unsere Sensor-Objektive einsetzen. Es wurden drei Prototypen des Sensor-Objektivs in verschiedenen Versionen aufgebaut und getestet. |
| Note: |
Entwicklung eines kombinierten Nahfeldmikroskopie- und -spektroskopiesystems : Bericht über das BMBF-Vorhaben 13N7643/6 ; (PTB-Bericht PTB-F-47) |
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