PTB-Reports Fertigungsmesstechnik (F)
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Report
| Title: | Messung dreidimensionaler Mikrostrukturen |
|---|---|
| Author(s): | T. Kleine-Besten |
| Editor: | Physikalisch-Technische Bundesanstalt |
| Report type: | PTB-Report |
| Year: | 2001 |
| Document number: | PTB-F-41 |
| Pages: | VII, 109 |
| ISBN: | ISBN 3-89701-698-2 |
| Note: | Messung dreidimensionaler Mikrostrukturen ; (PTB-Bericht PTB-F-41) ; Zugl.: Braunschweig, Univ., Diss. |