PTB-Reports Fertigungsmesstechnik (F)
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Report
| Title: |
Proceedings of the 5th seminar on quantitative microscopy and 1st seminar on nanoscale calibration standards and methods : NanoScale 2001 |
| Editor: |
Hasche, Klaus; 5, Fertigungsmesstechnik, PTB-Braunschweig
Mirandé, Werner; 4.22, Bildanalyse, PTB-Braunschweig
Wilkening, Günter; 5.1, Nano- und Mikrometrologie, PTB-Braunschweig |
| Report type: |
PTB-Report |
| Year: |
2002 |
| Document number: |
PTB-F-44 |
| Pages: |
214 , 220 Abb., 25 Tab. |
| Custom: |
€ 23,00 |
| ISBN: |
ISBN: 978-3-89701-840-2 |
| Abstract: |
In 31 Beiträgen wird ein Einblick in den derzeitigen Stand der quantitativen Erfassung von Oberflächenstrukturen im Nanometerbereich vermittelt. Die Beiträge verteilen sich nahezu gleichmäßig auf die Themenbereiche: Normale und Kalibriermethoden – Angewandte Messungen – Neue Instrumente und Messmethoden. Die Rastersondenmikroskopie bildet mit mehr als der Hälfte der Beiträge den instrumentellen Schwerpunkt. Thematischer Schwerpunkt ist die Messung von Stufenhöhen und die Kalibrierung von Messgeräten in der entsprechenden z-Achse. |
| Note: |
Proceedings of the 5th seminar on quantitative microscopy and 1st seminar on nanoscale calibration standards and methods : NanoScale 2001 ; Dimensional measurements in the micro- and nanometre range ; (PTB-Bericht PTB-F-44) |
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