PTB-Reports Fertigungsmesstechnik (F)
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Report
Title: |
Vergleichsmessungen mit optischen Koordinatenmessgeräten an einem speziellen 2D-Konturnormal |
Author(s): |
M. Neugebauer and U. Neuschaefer-Rube |
Editor: |
Physikalisch-Technische Bundesanstalt |
Report type: |
PTB-Report |
Year: |
2005 |
Document number: |
PTB-F-50 |
Pages: |
32 , 32 tw. farb. Abb., 4 Tab. |
Custom: |
€ 10,00 |
ISBN: |
ISBN 3-86509-283-7 |
Abstract: |
Es wird über Vergleichmessungen zwischen optischen Koordinaten-messgeräten an einem speziellen 2D-Konturnormal berichtet. Die Ergebnisse verdeutlichen den Stand der Technik bei der Messung komplexer 2D-Konturen mit optischen KMG. Die Referenzmessungen erfolgten mit einem Masken- und Wafer-Metrologiesystem. Es wurde experimentell nachgewiesen, dass die Qualität der Chromkanten einen entscheidenen Einfluss auf die Vergleichbarkeit von Messungen im Auflichtmodus und im Durchlichtmodus hat. |
Note: |
Vergleichsmessungen mit optischen Koordinatenmessgeräten an einem speziellen 2D-Konturnormal ; (PTB-Bericht PTB-F-50) |
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