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PTB-Reports Fertigungsmesstechnik (F)

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Report

Title: Vergleichsmessungen mit optischen Koordinatenmessgeräten an einem speziellen 2D-Konturnormal
Author(s): M. Neugebauer and U. Neuschaefer-Rube
Editor: Physikalisch-Technische Bundesanstalt
Report type: PTB-Report
Year: 2005
Document number: PTB-F-50
Pages: 32 , 32 tw. farb. Abb., 4 Tab.
Custom: € 10,00
ISBN: ISBN 3-86509-283-7
Abstract: Es wird über Vergleichmessungen zwischen optischen Koordinaten-messgeräten an einem speziellen 2D-Konturnormal berichtet. Die Ergebnisse verdeutlichen den Stand der Technik bei der Messung komplexer 2D-Konturen mit optischen KMG. Die Referenzmessungen erfolgten mit einem Masken- und Wafer-Metrologiesystem. Es wurde experimentell nachgewiesen, dass die Qualität der Chromkanten einen entscheidenen Einfluss auf die Vergleichbarkeit von Messungen im Auflichtmodus und im Durchlichtmodus hat.
Note: Vergleichsmessungen mit optischen Koordinatenmessgeräten an einem speziellen 2D-Konturnormal ; (PTB-Bericht PTB-F-50)

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