PTB-Reports Fertigungsmesstechnik (F)
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Report
| Title: |
Nanostrukturen und dünne Schichten |
| Author(s): |
A. Schlachetzki and K. H. (Hrsg.) |
| Year: |
1993 |
| Document number: |
PTB-F-16 |
| Pages: |
188 , 118 Abbildungen, 5 Tabellen |
| Custom: |
DM 41,50 |
| ISBN: |
ISBN 3-89429-413-2 |
| Keywords: |
PTB-F- |
| Abstract: |
Ein Überblick über den aktuellen Stand von Techniken und Verfahren zur Erzeugung von Strukturen im Mikro- und Nanometerbereich sowie über Techniken zur Abscheidung und Charakterisierung dünner Schichten, speziell auf Silizium. |
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