PTB-Reports Fertigungsmesstechnik (F)
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Report
| Title: |
Verbesserte Positionsbestimmung von Strukturen auf Photomasken |
| Author(s): |
A. Siebert |
| Year: |
1996 |
| Document number: |
PTB-F-24 |
| Pages: |
114 , 1 Abbildung, 81 Tabellen |
| Custom: |
DM 35,00 |
| ISBN: |
ISBN 3-89429-741-7 |
| Keywords: |
PTB-F- |
| Abstract: |
Es sind die Verfahren 1.) Fehlervermeidung durch Kalibrierung, Führungskorrektur und Fehlerkompensation sowie durch 2.) Fehlerkorrektur mittels Fehlergleichungen und Messen unter veränderten Bedingungen verschiedene Ansätze theoretisch und praktisch an einem Versuchsaufbau überprüft worden. |
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