PTB-Reports Fertigungsmesstechnik (F)
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Report
| Title: |
Nanostrukturierung mit dem Rastertunnelmikroskop |
| Author(s): |
R. Köning |
| Year: |
1997 |
| Document number: |
PTB-F-26 |
| Pages: |
114 , 54 Abbildungen, 1 Tabelle |
| Custom: |
DM 35,00 |
| ISBN: |
ISBN 3-89429-829-4 |
| Keywords: |
PTB-F- |
| Abstract: |
Nach einer Vorstellung der bisherigen Ergebnisse aus Nano-strukturierungsexperimenten erfolgt eine Vorauswahl aus den bekannten Strukturierungsverfahren. Danach folgt eine Darstellung der theoretischen Grundlagen des Rastertunnelmikroskops und der Abscheidungsmechanismen und der Ergebnisse der Untersuchungen nach dem ausgewählten Impulsverfahren. |
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