PTB-Reports Fertigungsmesstechnik (F)
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Report
| Title: |
Nahfeldmikroskopischer Sensor mit interner Signalwandlung |
| Author(s): |
H.-U. Danzebrink |
| Year: |
1997 |
| Document number: |
PTB-F-27 |
| Pages: |
112 , 60 Abbildungen, 16 Tabellen |
| Custom: |
DM 34,50 |
| ISBN: |
ISBN 3-89429-830-8 |
| Keywords: |
PTB-F- |
| Abstract: |
Das Grundkonzept der optoelektronischen Nahfeldsonden wird vorgestellt. Es werden die Herstellung und Charakterisierung dieser Sonden sowie die grundlegenden Untersuchungen der Kantendetektoren, die dem Nachweis der hohen lateralen Auflösung dieser Sonden dienen, als auch die Entwicklung der Cantilever-Detektoren beschrieben. |
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