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PTB-Reports Fertigungsmesstechnik (F)

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Report

Title: Nanostrukturen in Halbleitern
Author(s): A. Schlachetzki and K. H. (Hrsg.)
Year: 1998
Document number: PTB-F-31
Pages: 134
Custom: DM 37,00
ISBN: ISBN 3-89701-115-8
Keywords: PTB-F-
Abstract: Hier spannt sich der Bogen von der Physik über Herstellung und Charakterisierung bis zum industriellen Einsatz von Bauelementen mit Dimensionen im nm-Bereich. Es handelt sich hierbei um ein eindrucksvolles Beispiel für die vehemente Umsetzung neuer Prinzipien in die wirtschaftliche Nutzung.

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