PTB-Reports Fertigungsmesstechnik (F)
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Report
Title: |
Nanostrukturen in Halbleitern |
Author(s): |
A. Schlachetzki and K. H. (Hrsg.) |
Year: |
1998 |
Document number: |
PTB-F-31 |
Pages: |
134 |
Custom: |
DM 37,00 |
ISBN: |
ISBN 3-89701-115-8 |
Keywords: |
PTB-F- |
Abstract: |
Hier spannt sich der Bogen von der Physik über Herstellung und Charakterisierung bis zum industriellen Einsatz von Bauelementen mit Dimensionen im nm-Bereich. Es handelt sich hierbei um ein eindrucksvolles Beispiel für die vehemente Umsetzung neuer Prinzipien in die wirtschaftliche Nutzung. |
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