PTB-Reports Fertigungsmesstechnik (F)
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Report
| Title: |
Scanning Probe Microscope with High Resolution Capacitive Transducers |
| Author(s): |
X. Zhao |
| Year: |
1998 |
| Document number: |
PTB-F-32 |
| Pages: |
158 , 105 Abbildungen, 8 Tabellen |
| Custom: |
DM 39,50 |
| ISBN: |
ISBN 3-89701-207-3 |
| Keywords: |
PTB-F- |
| Abstract: |
Im Bericht wird detailliert auf Theorie und Anwendung von Plattenkondensatoren für die Wegmessung mit Subnano-meterauflösung eingegangen. Der Aufbau eines Scanapparates aus Bimorph Piezos wird beschrieben sowie dessen Bewegungsablauf analysiert. Einen breiten Raum nimmt auch die Kalibrierung des Scanapparates mit integrierten Kondensatoren mit Hilfe eines Laserinferometers sowie die Analyse der Meß-abweichungen ein. Der Einsatz des Rastersondenmikroskops für Längenmessungen ein- und zweidimensionaler Strukturen sowie spezieller Normale für Rastersondenmikroskope wird de-tailliert beschrieben und Meßabweichungen analysiert. |
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