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PTB-Reports Fertigungsmesstechnik (F)

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Report

Title: Proceedings of the 3rd Seminar on quantitative Microscopy Geometrical measurements in the micro- and nanometre range with far and near fields methods, November 1998
Author(s): H. K. von, W. Mirandé and W. G. (Eds.)
Year: 1998
Document number: PTB-F-34
Pages: 134 Seiten
Custom: DM 37,00
ISBN: ISBN 3-89701-280-4
Keywords: PTB-F-
Abstract: Der Bericht ist in die Abschnitte "Instrumentation - Calibration - Application" gegliedert. Wie auch bei den vorangegangenen Seminaren dieser Reihe liegt der Schwerpunkt der Arbeiten auf dem Gebiet der Rastersondenmikroskopie (SPM), wobei der Themenbereich Geräteentwicklung, Referenznormale und Kali-brierungen entsprechend dem Thema des Seminars besonders vielfältig behandelt wird. Daneben wird über Anwendung von SPMs in der Oberflächenmeßtechnik berichtet.

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